 |
Рекомендации при работе с источником ионов и магнетронами (минимальное количество шагов)
|
|
|
|
10.5.1. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «
», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Установите карусель в исходное положение: изделие №1 расположено напротив источника ионов (через смотровое окно видна метка), изделие №7 находится под магнетроном. Необходимо нажать на кнопку «
» чтобы выставить исходное положение карусели (над кнопкой загорится светодиод). На кнопке «
» будет надпись «шаг 1».
| Внимание! Если карусель находится в исходном положении (на кнопке «» надпись «шаг 1») то кнопка «» не нажмется, так как карусель и так находится в исходном положении.
|
Далее произвести процесс ионной очистки и магнетронного напыления в соответствии с таблицей 3.
Таблица 3
| № действия | Действие | Процесс | ||
| Кнопка
«»
| Кнопка
«»
| |||
| нажать | изделие №1 напротив источника ионов | изделие №7 напротив магнетроном | ||
| «шаг 1» | ионная очистка (изделие №1) | - | ||
| нажать | - | |||
| «шаг 2» | ионная очистка (изделие №2) | - | ||
| нажать | ||||
| «шаг 3» | ионная очистка (изделие №3) | напыление (изделие №1) | ||
| нажать | ||||
| «шаг 4» | ионная очистка (изделие №4) | напыление (изделие №2) | ||
| нажать | ||||
| «шаг 5» | ионная очистка (изделие №5) | напыление (изделие №3) | ||
| нажать | ||||
| «шаг 6» | ионная очистка (изделие №6) | напыление (изделие №4) | ||
| нажать | ||||
| «шаг 7» | ионная очистка (изделие №7) | напыление (изделие №5) | ||
| нажать | ||||
| «шаг 8» | ионная очистка (изделие №8) | напыление (изделие №6) | ||
| нажать | ||||
| «шаг 1» | изделие №1 напротив источника ионов | изделие №7 под магнетроном | ||
| - | напыление (изделие №7) | |||
| нажать | ||||
| «шаг 2» | - | напыление (изделие №8) |
|
|
|
10.5.2. Произвести процесс ионной очистки изделия №1 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10).
| ПРИМЕЧАНИЕ: При работе блока питания источника ионов на ЖК экране появится номер изделия «1»÷«8» (того, которое в данной момент стоит напротив источника ионов), а напротив номера светодиод (индикатор, который показывает что данное изделие обработано, причем это отображение не реального действия, а подсказка оператору). |
| Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №1 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) о том, что оператор проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
10.5.3. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 2»).
10.5.4. Произвести процесс ионной очистки изделия №2 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №2 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.5. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 3»).
|
|
|
10.5.6. Произвести процесс ионной очистки изделия №3 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №3 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.7. Произвести процесс напыления изделия №1 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10).
| ПРИМЕЧАНИЕ: При работе блока питания магнетрона на ЖК экране появится индикатор (напротив того изделия, которое в данной момент стоит под магнетроном; индикатор, который показывает что данное изделие напылено, причем это отображение не реального действия, а подсказка оператору). |
| Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №1 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
10.5.8. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 4»).
10.5.9. Произвести процесс ионной очистки изделия №4 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №4 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
|
|
|
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.10. Произвести процесс напыления изделия №2 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №2 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.11. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 5»).
10.5.12. Произвести процесс ионной очистки изделия №5 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №5 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.13. Произвести процесс напыления изделия №3 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №3 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
|
|
|
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.14. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 6»).
10.5.15. Произвести процесс ионной очистки изделия №6 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №5 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.16. Произвести процесс напыления изделия №4 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №4 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.17. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 7»).
10.5.18. Произвести процесс ионной очистки изделия №7 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №7 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
|
|
|
10.5.19. Произвести процесс напыления изделия №5 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №5 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.20. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 8»).
10.5.21. Произвести процесс ионной очистки изделия №8 (в соответствии с п. п. 10.3.3÷ 10.3.10). После подачи «ТОК а» индикатор рядом с номером изделия №8 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.22. Произвести процесс напыления изделия №6 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №6 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.22. Установите карусель в исходное положение: изделие №1 расположено напротив источника ионов (через смотровое окно видна метка), изделие №7 находится под магнетроном. Необходимо нажать на кнопку «» чтобы выставить исходное положение карусели (над кнопкой загорится светодиод). На кнопке «» будет надпись «шаг 1».
10.5.24. Произвести процесс напыления изделия №7 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №7 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.25. Включить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «изделие вращаются»). Произвести позиционирование карусели (поворот карусели на 45°). Нажать на кнопку «» (на кнопке появится надпись «шаг 2»).
10.5.26. Произвести процесс напыления изделия №8 (в соответствии с п. п. 10.4.3÷ 10.4.10). После подачи «МОЩНОСТ и» индикатор рядом с номером изделия №8 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) оператору о том, что он проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия).
| ПРИМЕЧАНИЕ: Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
10.5.27. По завершению ионной очистки и напыления всех изделий необходимо произвести сброс всех индикаторов вручную (нажать на них, и удерживать в течение нескольких минут, по очереди, индикаторы погаснут).
БЛОКИРОВКИ
11.1. Клапан «VP1» не открывается, если не включен форвакуумный насос «NL1».
11.2. Клапан «VP2» не открывается, если нет форвакуумного давление по преобразователя давления «PT1», если открыт клапан «VP3».
11.3. Клапан «VP3» не открывается, если открыт клапан «VP2», если открыт затвор «VT1», не опущена камера.
11.4. Клапан «VT1» открывается, если закрыт клапан «VP3», если есть форвакуумное давление по преобразователя давления «РТ3/РМ1», открыт клапан «VP2».
11.5. Клапан «VЕ2» открывается, если закрыт клапан «VP3», если закрыт затвор «VT1».
11.6. Турбомолекулярный насос «NR1» переходит в режим торможения, если нет его водяного охлаждения, если нет форвакуумного давления по преобразователя давления «PT2».
11.7. Блоки питания ИВЭ не включаться, если нет водяного охлаждения устройств и не опущена камера.
11.7. Подъемник не работает на подъем камеры, если не открыт клапан напуска воздуха «VE2» в камеру.
Приложение 1
СПЕЦИФИКАЦИЯ
|
|
|
