Главная | Обратная связь | Поможем написать вашу работу!

Порядок выполнения работы

1. Запустите программу управления прибором. Запуск производится при помощи ярлыка программы, расположенного на рабочем столе. В результате на экране монитора появится окно программы.

2. Включите ЗНЛ контроллер при помощи тумблера, расположенного на передней панели. Если включение прошло успешно, то на экране монитора в левом нижнем углу появится зеленая «галочка».

3. Для установки зондового датчика или его замены выполните следующие операции: снимите измерительную головку с базового блока. Винтами 1 и 2 ослабить крепление юстировочного столика 11 (рис. 1.7). Осторожно снять юстировочный столик, перевернуть его и положить на ровную поверхность рядом с измерительной головкой.

4. Поднимите прижимную пружину держателя зондового датчика. Для этого поверните вниз поворотный рычажок в открытое состояние с помощью пинцета. Рычажок имеет трапециевидную форму и расположен сбоку на корпусе держателя зонда (рис. 1.8).

ВНИМАНИЕ! Следует приподнимать прижимную пружину только поворотом рычажка. Не отгибайте ее пинцетом или рукой, это может привести к необратимой деформации.

5. Возьмите зондовый датчик из коробочки пинцетом с учётом того, что рабочая грань чипа с кантилеверами при установке будет обращена к Вам. Не переворачивайте чип, так как в коробочке зондовые датчики лежат остриями вверх.

6. Перенесите зондовый датчик на полочку держателя и поместите его слева от рабочего места (рис. 1.8). Рабочее место находится в углу полочки под прижимом держателя.

а б

Рис. 1.8. Контейнер с зондовыми датчиками (а) и держатель датчика (б)

7. Передвиньте зондовый датчик на рабочее место пинцетом и опустите прижимную пружину держателя для его фиксации. Для этого с помощью пинцета поверните рычажок в фиксирующее положение.

8. Включение и выключение лазера производится с помощью кнопки Laser, расположенной справа в строке основных параметров (рис. 1.9), (кнопка находится во включенном состоянии).

Рис. 1.9. Строка параметров

ВНИМАНИЕ! Избегайте попадания лазерного луча в глаза!

Для последующей настройки оптической системы откройте Окно настройки оптической системы посредством нажатия кнопки Aiming в строке операций (рис. 1.10).

Окно настройки системы состоит из расположенного слева индикатора положения лазерного пятна относительно секции фотодиода и таблицы, в которой отображаются текущие значения сигналов фотодиода.

Рис. 1.10. Строка операций

Отображаемые сигналы соответствуют: DFL – разностному сигналу между верхней и нижней половинами фотодиода; LF – разностному сигналу между левой и правой половинами фотодиода; Laser – суммарному сигналу, поступающему со всех четырех секций фотодиода, и соответственно пропорциональному интенсивности лазерного излучения, отраженного от кантилевера.

9. Возьмите измерительную головку и приподнимите ее примерно на 10-15 см над листом бумаги, используя его в качестве экрана. Для наведения лазерного луча на кантилевер выполните следующие действия:

а) вращением винта 2 (рис. 1.7) добейтесь появления неискаженного лазерного пятна. В общем случае лазерное пятно окажется в положении 1 (рис. 1.11);

б) вращая винт 2, перемещайте луч перпендикулярно к переднему краю чипа (1→2 или 3→4 на рис. 1.11) до тех пор, пока лазерное пятно не исказится.

в) вращая винт 1, перемещайте луч параллельно к переднему краю чипа (2→3 или 4→5). Таким образом, комбинацией действий б) и в) переместите лазерный луч по направлению к кончику кантилевера (4→5), до появления интерференционной картины.

Рис. 1.11. Перемещение лазерного пятна в общем случае

г) используя винты позиционирования лазера 1 и 2, чуть-чуть перемещая луч относительно кантилевера, настройтесь на максимальное значение суммарного сигнала фотодиода (Laser). Значение сигнала Laser должно находиться в диапазоне 20 – 50 нА.

10. При настройке необходимо так установить фотодиод относительно лазерного луча, чтобы последний, отражаясь от кантилевера, попадал в центральную часть фотодиода, одинаково освещая все четыре сегмента фотодиода.

Перемещение фотодиода осуществляется при помощи двух винтов позиционирования фотодиода 3 и 4, расположенных на измерительной головке (рис. 1.7). При этом значения сигналов DFL и LF должны быть выведены в нуль, величина суммарного сигнала Laser должна оставаться достаточно большой.

11. Образцы, имеющие небольшие размеры (менее 10-12 мм), необходимо закрепить на подложке, устанавливаемой на держателе образца. Для закрепления образцов на подложках можно использовать двустороннюю липкую ленту. Если необходимо обеспечить электрическое соединение образца с элементами прибора, рекомендуется использовать специальную подложку с пружинным контактом.

При установке подложка вдвигается сбоку под клипсы со стороны двух шариков таким образом, чтобы клипсы прижимали подложку, а нижняя поверхность подложки опиралась на три опорных шарика.

12. Измерительная головка устанавливается винтовыми опорами в посадочные гнезда так, чтобы передние опоры измерительной головки, зафиксированные контргайками, попали в гнезда с лункой и канавкой.

13. Подведите образец к зонду на расстояние примерно 0.5-1 мм. Для этого выполните предварительный подвод вручную с помощью ручки подвода.

Содержание отчета

1. Функциональная схема основных блоков СЗМ.

2. Схема регистрирующей системы колебаний балки кантилевера.

6. Контрольные вопросы

1. Назовите основные компоненты СЗМ и их назначение.

2. Назовите виды датчиков и принципы их действия.

3. Объясните назначение и принцип действия обратной связи.

4. Объясните принцип действия пьезоэлектрического двигателя. Опишите конструкцию сканера.

5. Объясните принцип формирования и обработки СЗМ изображений.

6. Опишите общую конструкцию ЗНЛ NTEGRA.

7. Назовите методы и режимы измерений и воздействий ЗНЛ NTEGRA.

8. Опишите функциональные характеристики ЗНЛ NTEGRA.

9. Назовите и объясните основные методы контактной атомно-силовой микроскопии.

⇐ Предыдущая 1 234 5 6 7 8 Следующая ⇒