Главная | Обратная связь | Поможем написать вашу работу!
МегаЛекции

Методы получения порошков нитрида кремния




ОТЧЕТ ПО НАУЧНО-ПРОИЗВОДСТВЕННОЙ ПРАКТИКЕ.

ТЕМА: «Получение реакционно-связанного нитрида кремния».

Выполнил:

Ст-т гр. МТМ - М18 Жмурин А. И.

Проверил:

Малынкин В.Г., к.ф.-м.н., доцент

2019

ЦЕЛЬ ПРАКТИКИ: изучение технологического процесса получения реакционно-связанного нитрида кремния.

КРАТКАЯ ТЕОРИЯ.

Нитрид кремния и материалы на его основе обладают комплексом полезных физико-химических и физико-механических свойств. Это определяет широкий спектр возможного применения нитридокремниевых материалов в технике. Высокая твердость, достаточная трещиностойкость, прочность и термопрочность при низкой плотности, инертность во многих агрессивных средах, низкий ТКЛР, хорошие диэлектрические характеристики, а также недефицитность сырья – все эти свойства способствуют использованию Si3N4 и материалов на его основе в машиностроении, инструментальной промышленности, ракетной технике, химии, электронике, электро- и радиотехнике и других отраслях.

Материалы на основе Si3N4 перспективны в качестве износостойких и коррозионностойких материалов в металлургической и химической промышленности. В силу хорошей термостойкости и низкой теплопроводности реакционно-связанный нитрид кремния (РСНК) обладает высокими огнеупорными свойствами. Также он хорошо подходит в качестве материала оснастки для термообработки и нагрева при горячей обработке давлением. Благодаря хорошей износостойкости, коррозионной стойкости, инертности по отношению к металлам и сплавам такая оснастка будет отличаться долговечностью и высоким качеством обрабатываемых деталей.

Одна из возможных сфер применения РСНК – создание радиопрозразрачных элементов летательных аппаратов. Материалы, использующиеся для данной цели должны обладать, помимо хороших радиотехнических свойств, высокими теплоизоляционными и прочностными характеристиками, также желательно, чтобы материал обладал низкой плотностью – для снижения массы конструкции. По всем этим параметрам РСНК не уступает, а иногда даже превосходит уже используемые для этой цели алюмооксидную керамику и силаллы.

Рассматривается также возможность применения нитрида кремния в качестве материала для создания газотурбинных двигателей. Низкий ТКЛР и высокая термостойкость РСНК позволяет уменьшить расход топлива и повысить эффективность газовых турбин. Хорошая коррозионная стойкость способствует увеличению долговечности изделия, а недефицитность сырья – снижению расходов на изготовление.

 

Структура нитрида кремния и его свойства

Существует две полиморфные модификации нитрида кремния – α-фаза и β-фаза. Они обе кристаллизуются в гексагональной сингонии и имеют одинаковый структурный тип (фенакит), отличаясь лишь расположением структурных элементов – координационных тетраэдров вдоль оси с (рисунок 1). Из-за этого различия размеры элементарной ячейки β-фазы немного меньше. Температура перехода из низкотемпературной α-фазы в высокотемпературную β-фазу строго не определена и колеблется в широких пределах в зависимости от ряда факторов: наличия дефектов, содержания примесей, технологической предыстории и др. Это говорит о монотропности перехода, т.е. точка пересечения кривых энергий Гиббса α- и β-фазы лежит выше температуры плавления. Важно, что наблюдается только прямой переход α→β, обратного не происходит. Такая особенность является следствием большей термодинамической устойчивости β-фазы.

Рисунок 1 – Структура элементарной ячейки α- и β-Si3N4

 

Ковалентная природа связи в нитриде кремния обуславливает высокие барьеры Пайерлса – Набарро для скольжения дислокаций, что обеспечивает высокую твердость и хрупкость материала. Из-за наличия большой ширины запрещенной зоны нитрид кремния (~4 эВ) демонстрирует хорошие диэлектрические свойства, хотя и является широкозонным полупроводником.

Нитрид кремния обладает низким значением температурного коэффициента линейного расширения, высокой прочностью, химической инертностью. Он устойчив к воздействию воды и кислот, в т.ч. соляной, серной, азотной любой концентрации. Слабо взаимодействует с фосфорной кислотой и активно – с плавиковой. Инертен по отношению к расплавам многих металлов. Не окисляется на воздухе вплоть до 900 °С.

 

Методы получения порошков нитрида кремния

К наиболее распространенным методам получения порошка нитрида кремния относят прямое азотирование порошка кремния, термоуглеродное азотирование, восстановление - синтез геля диоксида кремния, метод самораспространяющегося высокотемпературного синтеза, метод плазмохимического синтеза, метод осаждения из газовой фазы и термическая диссоциация.

Для прямого азотирования используют порошок кремния размером частиц не более 160 мкм. Процесс проводят в вертикальной печи диаметром 3м и высотой 8м при температуре 1300 – 1500 °С. Сверху печи загружают порошок кремния, образующийся в ходе реакции 3Si+2N2→Si3N4 нитрид оседает на дно, откуда и выгружается.

Термоуглеродное азотирование проводят при температуре 1000 – 1800°С по следующей реакции:

3SiO2+6C+2N2 → Si3N4+6CO↑.

В данных условиях преобладающим является процесс образования карбида кремния; выход Si3N4 незначителен. Однако добавление в шихту оксида железа позволяет изменить равновесие в сторону образования нитрида кремния, который затем очищают соляной кислотой.

Ультратонкие порошки нитрида кремния синтезируют азотированием порошков кремния, полученных методом восстановления - синтеза геля диоксида кремния. На первой стадии ортокремниевую кислоту, полученную в виде геля по схеме:

3SiСl4+4C2H5OH→(SiOC2H5)4+4HCl;

(SiOC2H5)4+4H2O→Si(OH) 4+4C2H5OH

промывают в изопропиловом спирте. При этом образуется гель SiO2, из которого по реакции

3SiO2+NН3→Si3N4+6Н2O

или

3SiO2+2N2+6Н2→Si3N4+6Н2O

получают нитрид кремния.

Метод самораспространяющегося высокотемпературного синтеза (СВС) основан на экзотермическом эффекте реакции азотирования кремния. Инициирование реакции идет за счет локального разогрева порошка кремния в атмосфере азота, после чего происходит распространение фронта горения и образование нитрида кремния.

В методе плазмохимического синтеза (ПХС) нитрид кремния получают в низкотемпературной плазме (5000 – 10000 К). Порошок кремния вводится в струю азотно-аргонной плазмы, реагирует с азотом, и образовавшийся нитрид отделяют с помощью воздушного потока и фильтра. Метод ПХС позволяет синтезировать ультратонкие порошки нитрида кремния с большой удельной поверхностью и высокой дефектностью кристаллической решетки.

В основе метода осаждения из газовой фазы лежит реакция взаимодействия галогенидов кремния или силана с аммиаком. В реакционную камеру подают смесь галогенида с газом – носителем и аммиак. В результате газофазной реакции образуется нитрид кремния:

3SiСl4+16NH3 →Si3N4+12NH4Cl;

3SiH4+4NH3 →Si3N4+12H2.

Один из способов получения нитрида кремния методом термической диссоциации является аммонолиз хлорида кремния. На первой стадии синтеза при температуре 0 °С в сухом гексане идет взаимодействие SiСl4 с безводным аммиаком:

SiСl4+6NH3 →Si(NН)2+4NH4Cl;

затем при 1200°С происходит образование нитрида кремния:

Si(NН)2→Si3N4+2NH3.

 

Поделиться:





Воспользуйтесь поиском по сайту:



©2015 - 2024 megalektsii.ru Все авторские права принадлежат авторам лекционных материалов. Обратная связь с нами...