Главная | Обратная связь | Поможем написать вашу работу!
 МегаЛекции

вакуумной и газовой системы одноместной установки ионно-плазменной балансировки ЧЭ ТВГ

ООО «ИОНТЕК-нано»

 

ОДНОМЕСТНАЯ Установка

Ионно-плазменной балансировки

Чувствительного элемента

Твердотельного волнового гироскопа

«краудион – ИТ1 – 12/1»

ТЕХНИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ И

ИНСТРУКЦИЯ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ

ИТ217.00.00.000 ТО и ИЭ

2011 г.

Г. Москва

Все права защищены Ò

Редакция от 2012-10-19

ОГЛАВЛЕНИЕ

  1. ВВЕДЕНИЕ 3
  2. НАЗНАЧЕНИЕ 3
  3. ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ 3
  4. СОСТАВ УСТАНОВКИ 4

4.1. Основные части установки 4

  1. ОПИСАНИЕ УСТАНОВКИ 6

5.1. Камера вакуумная технологическая6

5.1.1. Источник ионов 7

5.1.2. Механизм подъема камеры 8

5.2. Система вакуумной откачки 9

5.3. Система напуска воздуха или технологического газа 10

5.4. Система напуска рабочего газа (Аr) 10

5.5.Система водяного охлаждения 10

5.6.Система подготовки и распределения сжатого воздуха 12

5.7.Блок питания и управления 14

5.7.1. Панель управления установки 16

5.7.2. Описание меню программы управления установки 16

5.7.3. Мнемосхема установки 20

5.7.4. Позиционирование 22

  1. ХАРАКТЕРИСТИКИ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ 23
  2. УКАЗАНИЯ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ 23
  3. ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ УСТАНОВКИ 24

8.1. Подготовка к работе 24

8.2. Подключение установки 25

9. ПОРЯДОК РАБОТЫ 26

9.1. Состав обслуживающего персонала 26

9.2. Подготовка к работе 26

9.3. Включение установки 27

  1. РЕЖИМ РАБОТЫ 27

9.1. Напуск воздуха в камеру 27

9.2. Загрузка изделий в камеру 28

9.3. Фор- и высоковакуумная откачка камеры 28

9.5. Работа с источником ионов 30

  1. ВЫКЛЮЧЕНИЕ УСТАНОВКИ 32

Приложение 1 34

Приложение 2 36

 

 

  ВВЕДЕНИЕ
1.1     Техническое описание и инструкция по эксплуатации ИТ217.00.00.000 ТО и ИЭ предназначены для ознакомления с одноместной установкой ионно-плазменной балансировки чувствительного элемента твердотельного волнового гироскопа «КРАУДИОН - ИТ1 – 12/1» и устанавливают правила эксплуатации, соблюдение которых обеспечивает надежное функционирование установки.
  НАЗНАЧЕНИЕ
2.1   2.2     2.3 Одноместная установка «КРАУДИОН - ИТ1 – 12/1» (далее установка) предназначена для отработки балансировочного стенда и технологии ионно-плазменной балансировки чувствительного элемента твердотельного волнового гироскопа (ЧЭ ТВГ). Установка применяется при проведении работ по устранению дисбаланса резонатора. На установке выполняется динамическая балансировка (выравнивание собственных частот резонатора независимо от угла возбуждения стоячей волны в резонаторе) ЧЭ ТВГ. Балансировка резонатора проводится в вакуумной камере в среде инертного газа ионным пучком. Возбуждение резонатора на собственную частоту, съем информации резонатора, определение расположения избыточной массы резонатора, производится блоком управления с использованием вычислительного устройства. Установка обеспечивает сокращение времени балансировки ЧЭ ТВГ и увеличение производительности оборудования по сравнению с имеющимися у «Покупателя».  
  ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ
3.1   3.2 3.3     3.4   3.5   3.6     3.7   3.8  
Максимальное давление внутри вакуумной камеры, Па (торр) £1,33×10-4 (1,00×10-6)
Время выхода установки на режим, мин.  
Параметры источника ионов CIST – 25/0.3: - рабочий газ - расстояние источник ионов – мишень, мм - ускоряющее напряжение, кВ; - максимальный ионный ток не менее, мА; - рабочее давление, Па; - диаметр пучка (рабочее сечение), мм.   Аr 50÷100 0,5÷2 10-3÷10-2 5÷15 (4÷5)
Максимальная мощность, потребляемая установкой не более, кВт   2,5*
Питание – трехфазная четырехпроводная с нулевым проводом сеть переменного тока с параметрами: - напряжение, В; - частота, Гц     380±10 50±2,5
Коммуникации: - Вода холодная: - температура, ˚С - давление, бар - расход воды: - охлаждение турбомолекулярного насоса, л/час; - охлаждение источника ионов, л/час; Всего, л/час Сжатый воздух: - давление, Па - содержание влаги, мг/м3 (точка росы, К) - содержание твердых примесей не более 0,1 мг/м3 - при размере частиц, мкм - расход, м3/час     +20±5** 3÷5     4×105¸6×105 £2049 (263) £0,1 £1 £2
Габаритные размеры установки: - вакуумная стойка с камерой: - длина, мм - ширина, мм - высота, мм - ход камеры, мм - форвакуумный насос: длина×ширина×высота, мм      
Масса установки не более, кг  

* Без учета мощности устройства возбуждения и управления балансировкой резонатора

** Не ниже точки росы для климатических условий в помещении, где эксплуатируется оборудование

 

 
  СОСТАВ УСТАНОВКИ
4.1 4.1.2   4.1.3   4.1.4     4.1.5   4.1.6   4.1.7   Основными составными частями установки являются: - камера вакуумная технологическая: - источник ионов; - вакуумная система: - вакуумные насосы: - насос форвакуумный ACP 28 «NL1»; - насос турбомолекулярный ATH 300 «NR1»; - вакуумные клапаны, в том числе: - клапан вакуумный электромагнитный XMA-25 «VР1».. «VР3»; - затвор вакуумный с пневмоприводом 11212-0403R «VТ1»; - преобразователи давления: - преобразователи термопарные ПМТ-6-3М-1 «PT1», «PT2»; - преобразователь давления комбинированный 972B DualMag «PT3/PM1». - другое оборудование: - ловушка форвакуумная (фильтр) IPF 25 «BM1». - система напуска рабочего газа (Ar), в том числе: - клапан ручной B2V-F-4N «VП1»; - фильтр Т-образный FT-F-4N «SF4»; - регулятор давления DRA100-A050S-LT0-4FS-G1S-Guage «WF1»; - регулятор расхода газов РРГ-10 «FG1»; - клапан вакуумный электромагнитный XSA3-32V-5G «VЕ2». - система напуска воздуха или технологического газа, в том числе: - микрофильтр с индикатором AM150C-F02-T «SF1» - мембранный осушитель воздуха IDG5-F02 «HF1» - фильтр запахопоглотитель АМF150C-FO2 «SF2» - фильтр микрочастиц SFA-203-01 «SF3» - клапан вакуумный электромагнитный XSA1-12V-5G «VЕ1»; - система водяного охлаждения, в том числе: - коллектор с входным краном G3/4², промывным фильтром тонкой очистки FK-06 Honeywell G3/4² (сетка 100 мкм) c редуктором (10 бар) и ручными клапанами Bugatti G1/2², 2 шт.; - клапаны электромагнитные VXZ2240-04F-5D1, 2/2, н/з, присоединение – G1/2², SMC, 2 шт.; - реле расхода для жидкостей, EIFW510-F03-10, присоединение G3/8², SMC, 2 шт.; - сливная воронка (открытый слив); - трубки, быстроразъемные фитинги, SMC. - блок питания и управления: - сенсорная ЖК панель; - вакуумметр PDR 900-1 (индикация давления по преобразователю «РТ3/РМ1»); - блок питания источника ионов ИВЭ-341; - 4-х канальный регистратор температуры «Термодат-19-M4»; - блок питания турбомолекулярного насоса АСТ600ТН.  
  ОПИСАНИЕ УСТАНОВКИ
  5.1   Установка представляет собой рабочий стол, собранный на раме из промышленного алюминиевого профиля, с установленной на ней вакуумной камерой. В установке не предусмотрена отдельно стоящая стойка питания и управления. Внутри рамы имеется отсек 19”, предназначенный для этой цели. Управление установкой осуществляется при помощи сенсорной операторской панели управления, установленной в отсек 19”. Камеры вакуумная технологическая Вакуумная камера (рис. 1) изготовлена из нержавеющей стали в форме цилиндра, опорный фланец которого жестко закреплен на поверхности стола установки. В вакуумной камере предусмотрено смотровое окно для визуального наблюдения технологического процесса. Внутри вакуумной камеры расположены: - источник ионов; - приспособление для закрепления и балансировки деталей (Заказчик); - два электрических вакуумных разъема по 16 контактов в каждом.
Рис. 1. Внешний вид установки
5.1.1     5.1.2     5.2     5.3   5.4     Источник ионов На опорном фланце устанавливается: источник ионов, приспособление для закрепления и балансировки изделий, изделие (рис. 2). Малогабаритный источник ионов CIST-25/0.3 с холодным катодом предназначен для проведения балансировки изделий. Между источником ионов и обрабатываемым объектом расположена диафрагма (см. ТО и ИЭ ИТ138.00.00.00/191.01.05.000 ТО и ИЭ). Рис. 2. Опорный фланец вакуумной камеры с источником ионов и приспособление для закрепления и балансировки изделий   Механизм подъема камеры Механизм подъема обеспечивает вертикальное перемещение (спуск-подъем) камеры. Мотор-редуктор закреплен на раме, вращение от него передается через пару ходовой винт-гайка, гайка жестко закреплена в балке, к которой крепится вакуумная камера. При вращении ходового винта осуществляется перемещение гаек, таким образом осуществляется перемещение камеры вверх/вниз. Механизм подъема состоит из: - мотор-редуктора (МRТ-30А);   Система вакуумной откачки Для ознакомления с вакуумной схемой установки см. Приложение 1 и Спецификацию к ней. Система вакуумной откачки Система предназначена для: - форвакуумной откачки камеры«CV1». Форвакуумная откачка выполняется при помощи роторного насоса ACP-28 «NL1» (с фильтром IPF25 «BM1»), насос отсечен от откачной магистрали вакуумным клапаном с пневмоприводом XMA-25 «VP1». Форвакуумная откачка камеры происходит через вакуумные клапаны c пневмоприводом ХМA-25 «VP3». Форвакуумная откачка турбомолекулярного насоса «NR1» происходит через вакуумный клапан с пневмоприводом XMA-25 «VP2». Для контроля давления в системе предусмотрены преобразователи ПМТ6-3М-1 «PT1», «PT2» и комбинированного преобразователя давления микро Пирани/холодный катод «PT3/PM1». - высоковакуумной откачки камеры «CV1». Высоковакуумная откачка выполняется при помощи турбомолекулярного насоса ATH 300 «NR1», соединяемым через вакуумный затвор 11212-0403R «VТ1» с камерой «CV1». Контроль давления осуществляется при помощи комбинированного преобразователя давления микро Пирани/холодный катод «PT3/PM1».   Система напуска воздуха или технологического газа Система предназначена для напуска в вакуумную камеру воздуха или технологического газа через осушитель и фильтр микрочастиц (0,01 мкм) до атмосферного давления, с помощью электромагнитного клапана. Система состоит из: - микрофильтр с индикатором AM150C-F02-T «SF1» - мембранный осушитель воздуха IDG5-F02 «HF1» - фильтр запахопоглотитель АМF150C-FO2 «SF2» - фильтр микрочастиц SFA-203-01 «SF3» - клапан вакуумный электромагнитный XSA1-12V-5G «VЕ1». Контроль давления осуществляется по преобразователю давления микро Пирани/холодный катод («PT3/PM1»). Система напуска рабочего газа (Ar) Система предназначена для подачи рабочего газа (аргона) и состоит из: - клапан ручной B2V-F-4N «VП1»; - фильтр Т-образный FT-F-4N «SF4»; - регулятор давления DRA100-A050S-LT0-4FS-G1S-Guage «WF1»; - регулятор расхода газов РРГ-10 «FG1»; - клапан вакуумный электромагнитный XSA3-32V-5G «VЕ2». Контроль давления осуществляется по преобразователю давления микро Пирани/холодный катод («PT3/PM1»). Баллон с газом (аргоном) подсоединяется через быстроразъемное соединение.  
5.5   Система водяного охлаждения Система водяного охлаждения (рис. 2) собрана на латунном коллекторе с входным краном G3/4², промывным фильтром тонкой очистки FK-06 Honeywell G3/4² (сетка 100 мкм) с редуктором (10 бар) и манометром, ручными клапанами Bugatti G1/2² (2 штуки), электромагнитными клапанами VXZ2240-04F-5D1 (2 штуки), соединяемым с внешней магистралью подачи охлаждающей воды на установку, и от которого отходят две параллельные магистрали водяного охлаждения: Рис. 2. Система водяного охлаждения установки 1 - входной ручной шаровой кран; 2 - промывной фильтр тонкой очистки FK-06 Honeywell; 3- редуктор; 4 - клапаны электромагнитные VXZ2240-04F-5D1; 5 - ручные шаровые краны Bugatti; 6 - реле расхода для жидкостей EIFW510-F04-10; 7 - сливная воронка.   - магистраль №1 – охлаждение турбомолекулярного насоса; - магистраль №2 – охлаждение источника ионов. Также предусмотрены две независимых сливных магистрали, на каждой из которых установлены реле потока EIFW510-F03-10. Реле потока установлены непосредственно на воронке открытого слива, что обеспечивает низкое гидравлическое сопротивление каждой магистрали и возможность независимо регулировать потоки охлаждающей воды в каждой магистрали.
5.6 Система подготовки и распределения сжатого воздуха
  Система подготовки и распределения сжатого воздуха представляет собой интегрированный модуль («пневмоостров») с реле давлением, входным фильтром, клапаном плавной подачи воздуха и электромагнитными клапанами, которые обеспечивают подачу воздуха к вакуумным пневмоклапанам. Управление системой осуществляется с помощью ЖК панели. Данная система (рис. 3, табл. 1) состоит из следующих компонентов: Рис. 3. Система подготовки и распределения сжатого воздуха 1- реле давления IS1000E-30F03-X215; 2 - фильтр-регулятор AW30-F03D; 3 - устройство плавной подачи воздуха EAV3000-F03-5YO-Q; 4 - 2×3/2-пневмораспределители SJ3A60K-5CUD-C6. - модульная система («пневмоостров») фирмы SMC; - реле давления; - фильтр-регулятор давления; - устройство плавной подачи воздуха; - многосекционная распределительная панель; - электромагнитные (24 В) клапаны (пневмораспределителями 3/2) подачи cжатого воздуха. Для работы данной системы в помещении, где предполагается эксплуатировать установку, должен быть обеспечен компрессор с ресивером и автоматикой поддержания рабочего давления сжатого воздуха или установку необходимо присоединить к цеховой/заводской магистрали сжатого воздуха. . Таблица 1
№ Обозначение SMC Описание Кол-во
1. IS1000E-30F03-X215 Реле давления  
2. Y300 Переходная деталь  
3. AW30-F03D Фильтр-регулятор, 5мкм, 3/8²  
4. GC3-10AS Манометр, 0-1,0МПа  
5. Y300T Переходная деталь с крепежным угольником  
6. EAV3000-F03-5YO-Q Устройство плавной подачи воздуха, 3/8²  
7. AN300-03 Пневмоглушитель, 3/8²  
8. X31 Ответная часть разъема  
9. SJ3000-53-1A Концевая плита для SJ3000  
10. SJ3000-50-1А-С8 Секция отвода/подвода воздуха для SJ3000  
11. SJ3000-42-4А-2 Концевая плита с электромагнитным коннектором плоский кабель 10 pins  
12. SJ3A60K-5CUD-C6 2×3/2-пневмораспределитель, 24VDC  
13. AN 203-KM8 Пневмоглушитель  
14. AXT100-FC10-1 Кабель 10 пин с плоским разъемом, 1.5 м  
5.7   Блок питания и управления Управление установкой осуществляется от блока питания и управления (рис. 4).
 
 
 
 
 
 

Рис. 4. Стойка питания и управления

1 – операторская панель Weintak серии МТ60; 2 – вакуумметр PDR 900-1; 3 – блок управления (поставляется Заказчиком); 4 – блок питания источника ионов ИВЭ-341; 5 – блок питания турбомолекулярного насоса АСТ600ТН; 6 – 4-х канальный регистратор температуры «Термодат-19-M4».

 

На лицевой стороне блока располагаются основные приборы, а также сенсорная ЖК панель управления, обеспечивающая простоту и удобство управления: доступ к командам меню «Работа», задание основных параметров процесса откачки, проведение процесса откачки с индикацией состояния элементов вакуумной системы. Система управления установки также обеспечивает необходимый набор блокировок, обеспечивающих защиту системы от внештатных ситуаций и ошибочных действий оператора.
  5.7.1   5.7.2     5.7.3     Внутри блока находится система электропитания, предназначенная для распределения электропитания между отдельными потребителями установки и их защиты по току. - внутри блока: - система управления, регистрации и отображения информации на базе программируемого логического контроллера Direct Logic 205, в том числе: - D2-260CPU – процессорный модуль; - D2-32ND3 – модуль дискретного ввода; - D2-08TR – модуль релейного вывода (2 шт.); - D2-12TR – модуль релейного вывода; - F2-08AD2 – модуль аналогового ввода/вывода (2 шт.); - Н2-ECOM100 – модуль Ethernet; - ZipLink – модуль дискретных входов. - система электропитания: - промежуточное реле ABB с катушкой 24 V DC (7 шт.); - однофазный автомат защиты на 6А, 10А (2 шт.); - контактор на 12A с катушкой 24 V (4 шт.); - контактор на 32А с катушкой 220 V; - сетевой АС/DC преобразователь DRP-240-24, MeanWell; - сетевой АС/DC преобразователь DRP-40-24, MeanWell; - сетевой АС/DC преобразователь DRP-4524, MeanWell; - трехфазный автомат защиты на 25А, 10А; - трехфазный выключатель дифференциального тока на 25А, 230/400В - миниконтактор 9A с катушкой 24В; - тепло-магнитный расцепитель ВАМУ 0.4-0.63А, 36кА, защита двигателя подъемника камеры по превышению тока; - ezi-Servo управление серводвигателем подъемника камеры; - блок питания РРГ-10, 220/15В; - распаячная коробка (плата для преобразователей ПМТ6-3М-1). - приборы на лицевой стороне: - операторская панель Weintak серии МТ60; - вакуумметр PDR 900-1 (индикация давления по преобразователю «РТ3/РМ1»); - блок питания источника ионов ИВЭ-341; - 4-х канальный регистратор температуры «Термодат-19-M4»; - блок питания турбомолекулярного насоса АСТ600ТН.   Панель управления установки Операторская сенсорная ЖК панель Weintak серии МТ600 предназначена для управления установкой, проведения технологического процесса.   Описание меню программы управления установки При включении ЖК панели после загрузки операционной системы на экране появляется заставка (рис. 5).   Рис. 5. Заставка При нажатии кнопки «Наладка» на экране появляется окно в котором можно задать уставки преобразователей давления (рис. 6): Рис. 6. Уставки преобразователей давления При нажатии кнопки «Работа» на экране появляется окно главного меню(рис. 7): Рис. 7. Главное меню При нажатии кнопки «Система охлаждения» на экране появится окно (рис. 8). Рис. 8 Меню «Водяное охлаждение» При нажатии кнопки «Откачка (фор. и высоковакуумная)» на экране появится окно(рис. 9). Рис. 9 Мнемосхема установки При нажатии кнопки «Позиционирование» на экране появится окно (рис. 10). Рис. 10 Позиционирование пучка ионов При нажатии кнопки «Выгрузка/перезагрузка» на экране появится окно (рис. 11). Рис. 11 Выгрузка (перезагрузка) Мнемосхема установки На мнемосхеме (рис. 12) установки обозначены следующие элементы таблица 2: Таблица 2
  Обозначение Наименование Кол-во
  CV1 Камера вакуумная технологическая  
  NL1 Включение/выключение форвакуумного насоса ACP 28  
  BM1 Ловушка форвакуумная (фильтр) IPF25  
  NR1 Включение/выключение турбомолекулярного насоса ATH 300  
  VT1 Открытие/закрытие вакуумного с пневмоприводном затвора 11212-0403R  
  VP1÷VP3 Открытие/закрытие вакуумного клапана с пневмоприводом ХMA-25  
  VE1 Открытие/закрытие вакуумного электромагнитного клапана напуска воздуха XSA1-12V-5G  
  VE2 Открытие/закрытие вакуумного электромагнитного клапана напуска рабочего газа (Аr) XSA3-32V-5G  
  SF1 Микрофильтр с индикатором AM150C-F02-T  
  HF1 Мембранный осушитель воздуха IDG5-F02  
  SF2 Фильтр запахопоглотитель АМF150C-FO2  
  SF3 Фильтр микрочастиц SFA-203-02  
  SF4 Фильтр Т-образный FT-F-4N  
  FG1 Регулятор расхода газов РРГ-10  
  WF1 Регулятор давления DRA100-A050S-LT0-4FS-G1S-Guage  
  VП1 Клапан ручной B2V-F-4N  
  PT1, PT2 Преобразователь давления ПМТ6-3М-1  
PT3/PM1 Преобразователь давления микро Пирани /холодный катод 972В  
Сжатый Воздух Подача сжатого воздуха на установку  
Питание откл/вкл Включение/выключение блока питания источника ионов  
       

 
 
     

Рис. 13. Мнемосхема установки

5.7.4  
заслонка открыта/ закрыта Открытие/закрытие заслонки (диафрагмы)  
Вода охлаждения
NR1 Подача воды для охлаждения турбомолекулярного насоса  
Источник ионов Подача воды для охлаждения источника ионов  

Позиционирование

В п. меню «Позиционирование» обозначены следующие элементы таблица 3: Таблица 3

Обозначение Наименование Кол-во
выбор шага (+5º или +10º или +15º или +90º)  
поворот на заданный шаг    
отображение заданного шага  
реверс шага (возможность задания шага -5º или -10º или -15º или -90º)  
Счетчик шагов (заданных)  
Питание откл/вкл Питание блока питания источника ионов  
VE2 Клапан вакуумный электромагнитный XSA3-32V-5G  
VE2 Открытие/закрытие вакуумного электромагнитного клапана напуска рабочего газа (Аr) XSA3-32V-5G  
FG1 Регулятор расхода газов РРГ-10  
WF1 Регулятор давления DRA100-A050S-LT0-4FS-G1S-Guage  
SF4 Фильтр Т-образный FT-F-4N  
VП1 Клапан ручной B2V-F-4N  
Вода охлаждения
NR1 Подача воды для охлаждения турбомолекулярного насоса  
Источник ионов Подача воды для охлаждения источника ионов  
  ХАРАКТЕРИСТИКИ ОКРУЖАЮЩЕЙ СРЕДЫ
6.1 Вид климатического исполнения установки УХЛ категории 4.2 по ГОСТ 15150-69 при температурах от 283 до 308 К. Все материалы, применяемые в установке, не возгораются и не выделяют токсических веществ суммарно в количестве опасном окружающему персоналу.  
  УКАЗАНИЯ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ
7.1   7.2     7.3     7.4     7.5   7.6     7.7   При работе с установкой необходимо руководствоваться разделом «К» «Правил техники безопасности и производственной санитарии». Установка рассчитана на эксплуатацию в соответствии с требованиями, изложенными в ОСТ II 050.067-82 «ИЭТ. Гигиена и эксплуатация. Общие технические требования». Наладочные работы, осмотры и ремонт механизмов установки производить только после отключения установки от сети питания с соблюдением правил техники безопасности. К работе на установке допускаются лица, изучившие настоящую инструкцию, инструкцию по технике безопасности при работе на оборудовании, а также прошедшие инструктаж по безопасности труда на рабочем месте и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже III. К техническому обслуживанию установки допускаются лица, имеющие квалификационную группу по технике безопасности не ниже III. При эксплуатации установки необходимо дополнительно руководствоваться составленными с учетом местных условий инструкциями по технике безопасности по эксплуатации данного оборудования, а также требованиями ПУЭ, ПТЭ и ПТБ Электроустановок потребителей. Запрещается во время работы отключать кабели, соединяющие между собой отдельные блоки установки.
  ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ УСТАНОВКИ
8.1 8.1.1   8.1.2   8.1.3     8.1.4   8.1.5   8.2   8.2.1   8.2.2   8.2.3   8.2.4     8.2.5     8.2.6   8.2.7     Подготовка к работе: Установку допускается эксплуатировать в помещениях не хуже ОсЧ-2-2 по Н587-75 и категории 1 группы «в» по ОСТ 1 80492-82. Дополнительных, специальных мер по охране окружающей среды не требуется. Для доступа ко всем элементам, требующим осмотра, регулировки, проверки, замены и ремонта требуется свободное пространство размером не менее 0,8 м от боковой стенки по всему периметру. В помещении должны быть: - трехфазная четырехпроводная с нулевым проводом сеть переменного тока частотой 50 Гц и напряжением 380 В. Норма качества электроэнергии по ГОСТ 13109-97; - шина защитного заземления; - сжатый воздух с давлением от 4×105 до 6×105 Па с содержанием влаги не более 2049 мг/м3, соответствующей точке росы при температуре 263˚К; содержание твердых примесей не более 0,1 мг/м3 при размере частиц не более 1 мкм, расход сжатого воздуха не более 2 м3/час; - магистраль подачи холодный воды на охлаждение устройств установки температурой +(20±5)˚С под давлением 3÷5 бар: - охлаждение турбомолекулярного насоса, расход не менее 60 л/час; - охлаждение источника ионов, расход не менее, 120 л/час. - система свободного канализационного слива со штуцером для присоединения сливной магистрали от установки. В данной установке предусмотрен общий подводящий коллектор и отходящие от него четыре параллельные магистрали водяного охлаждения: магистраль №1 – охлаждение турбомолекулярного насоса; №2 – охлаждение источника ионов. Также предусмотрены две независимых сливных магистрали, на каждой из которых установлены реле потока EIFW510-F04-10. Реле потока установлены непосредственно на воронке открытого слива, что обеспечивает низкое гидравлическое сопротивление каждой магистрали и возможность независимо регулировать потоки охлаждающей воды в каждой магистрали. Подключение установки производить в последовательности приведенной ниже: Распаковать установку, установить ее на место эксплуатации, тщательно протереть от пыли. Соединительные кабели в соответствии с маркировкой и электрической схемой, присоединить к разъемам стойки питания и управления. Преобразователи вакуума соединить кабелями с контроллером вакуума. Надежно заземлить установку (рис. 14), соединив ее медным проводом сечением не менее 5 мм2 со специальной заземляющей шиной болтовым соединением или сваркой. Рис. 14. Клемма заземления   Подключить установку к трехфазной четырехпроводной с нулевым проводом сети переменного тока частотой 50 Гц и напряжением 380 В через трехфазный автоматический выключатель 25 А. Подключить магистраль водяного охлаждения от водопроводной сети (или контура оборотного водоснабжения) к входному коллектору установки, а также сливную магистраль. Выставить необходимое значение общего расхода воды и проверить расход воды на охлаждение каждого из требующих охлаждения устройств. Подключить магистраль для подачи сжатого воздуха к системе подготовки и распределения сжатого воздуха установки. Подключить форвакуумный насос к кабелю питания форвакуумного насоса (кабели промаркированы).  
9. ПОРЯДОК РАБОТЫ
9.1   9.1.1     9.1.2   Состав обслуживающего персонала Обслуживающий персонал должен иметь удостоверение о проверке знаний “Правил технической эксплуатации и безопасности обслуживания электроустановок предприятия”. Работа осуществляется одним человеком – имеющим квалификационную группу не ниже III по технике безопасности, изучившим настоящую инструкцию и прошедшим инструктаж на рабочем месте по безопасности труда.
9.2 Подготовка к работе
9.2.1   9.2.2     9.2.3   Произведите внешний осмотр установки и убедитесь в том, что: - нет механических повреждений; - все кнопки и тумблеры выключены на стойке питания и управления. Проверьте наличие заземления установки (вакуумной стойки и стойки питания и управления), убедитесь, что клеммы проводов заземления имеют надежный контакт с болтами контура заземления. На задней стенке стойки питания и управления должны быть включены все автоматы защиты.
9.3 Включение установки
9.3.1     9.3.2     9.3.3     Включить установку, для этого необходимо нажать кнопку «ON/OFF», расположенную на лицевой панели блока питания и управления (рядом с ЖК панелью), при этом загорится световая индикация кнопки, одновременно автоматически включатся некоторые приборы в стойке. На ЖК панеле нажать на кнопку «Работа», на экране появится главное меню, и в нем необходимо выбрать пункт «Откачка (фор. и высоковакуумная)», на экране появится мнемосхема установки. Подать сжатый воздух на пневмоустройства установки: для этого необходимо на ЖК панели (в п.«Откачка (фор. и высоковакуумная)» на мнемосхеме установки) нажать кнопку «Сжатый воздух».
10.   РЕЖИМ РАБОТЫ
Индикация элементов мнемосхемы
 
Исходное состояние элементов –сам элемент серого цвета, а светодиод красный (или кнопка);
при включении элемента (нажатии на него) светодиод загорается зеленым цветом: если элемент включился,то и сам элемент подсветится зеленым цветом; если же элемент не включился, то элемент сохранит свой цвет – серый.
10.1 Напуск воздуха в камеру
10.1.1   10.1.2 Для того чтобы в камеру осуществить напуск воздуха или технологического газа, необходимо открыть клапаны «VE1». Для этого необходимо на ЖК панеле нажать на соответствующую кнопку, при этом загорится ее световая индикация. Контроль давления осуществляется по преобразователям «PT3/PM1» и по вакуумметру PDR 900-1 (который расположен в блоке питания и управления). После напуска воздуха в камеру необходимо закрыть клапан «VE1».
10.2 Загрузка изделий в камеру
10.2.1     10.2.2   10.2.3     Убедитесь в том, что произведен напуск воздуха в камеру или в том, что в камере давление примерно равно атмосферному (визуально по мнемосхеме по преобразователю давления «PT3/PM1» или по вакуумметру PDR 900-1 (который расположен в блоке питания и управления). Оператору необходимо поднять камеру. Для этого необходимо в главном меню выбрать пункт «Выгрузка (перезагрузка)» и нажать на кнопку «». После подъема камеры загрузить изделия, закрыть камеру, нажать на кнопку «». Произвести откачку камеры.
10.3 Фор- и высоковакуумная откачка камеры
10.3.1 10.3.2 10.3.3 10.3.4 10.3.5 10.3.6     10.3.7     В главном меню выбрать пункт «Откачка (фор. и высоковакуумная)». Включить форвакуумный насос «NL1» (для этого необходимо нажать на соответствующую кнопку, расположенную на мнемосхеме, при этом загорится световая индикация элемента). Открыть клапан «VP1» (для этого необходимо нажать на соответствующую кнопку, расположенную на мнемосхеме, при этом загорится световая индикация элемента). Контроль давления осуществляется по мнемосхеме (при достижении необходимого давления загорится светодиод на элементе «PT1») и по вакуумметру PDR 900-1. Произвести форвакуумную откачку камеры «CV1». Открыть клапан «VP3» (для этого необходимо нажать на соответствующую кнопку, расположенную на мнемосхеме, при этом загорится световая индикация элемента). Контроль давления осуществляется визуально по мнемосхеме (преобразователь давления «PT3/PM1») и по вакуумметру PDR 900-1. Произвести форвакуумную откачку турбомолекулярного насоса «NR1». Закрыть клапан «VP3» (для этого необходимо нажать на соответствующую кнопку, расположенную на мнемосхеме, при этом погаснет световая индикация элемента). Открыть клапан «VP2» (для этого необходимо нажать на соответствующую кнопку, расположенную на мнемосхеме, при этом загорится световая индикация элемента). Контроль давления осуществляется по мнемосхеме (при достижении необходимого давления загорится светодиод на элементе «PT2»). Рекомендуем совместно с форвакуумной откачкой камеры произвести форвакуумную откачку магистрали подачи рабочего газа. Для этого необходимо открыть электромагнитный клапан «VE2», задать нулевой расход РРГ-10 (на ЖК панеле нажать элемент «FG1», появится калькулятор, с помощью него задать расход равный 0%). Произвести откачку. Подать воду для охлаждения турбомолекулярного насоса (нажать на мнемосхеме на кнопку «ВОДА: «NR1», при этом она подсветится и на ней появится надпись «открыт»). Проконтролировать слив воды визуально.
Примечание: В том случае, если водяное охлаждение турбомолекулярного насоса отсутствует, то на ЖК панели появится подсказка «Подать воду для охлаждения «NR1».

Осуществить запуск турбомолекулярного насоса «NR1». Включить турбомолекулярный насос, нажать на мнемосхеме кнопку «NR1», при этом на ЖК панели кнопка «NR1» поменяет цвет - вместо красного цвета заг
Поделиться:





Воспользуйтесь поиском по сайту:



©2015 - 2024 megalektsii.ru Все авторские права принадлежат авторам лекционных материалов. Обратная связь с нами...