 |
Технические характеристики установки 01НИ – 7 - 015
|
|
|
|
Масса установки не более 2862 кг.
Кинематическая производительность установки не менее 100 пластин в час при диаметре пластин (76-100)мм и толщине пленки алюминия 1 мкм.
Кинематическая производительность установки при толщине пленки алюминия 1 мкм - есть количество изготовленных на установке в течение 1 ч изделий (кремниевых пластин), т.е. с нанесенной пленкой алюминия толщиной не менее
1 мкм, без учета потерь времени на включение, запуск, тренировку, отключение, ремонт установки и т.д.
Токи, потребляемые установкой по фазам, не более 70А.
Расход холодной воды с давлением (3-4 
105 Па (3-4)кгс/см2 при работе установки не более 2 м3/ч (5,6 
10-4 м3/с), при разнице температур воды на входе и выходе не более 10°С.
Установка обеспечивает откачку рабочей камеры до давления не выше 1,ЗЗ 
10-2Па (1 
10-4 мм рт. ст.) за время не более 30 мин, откачку рабочей камеры до давления не выше 6,7 
10-5 Па (5 
10-7 мм. рт. ст.) за время не более 120 мин, при этом суммарное натекание и газовыделение в рабочей камере при открытых затворах шлюзов не более 1,33 
10-5 м3 Па (1 
10-4 мм. рт. ст.) (КР) и измерение давления рабочей камеры в диапазоне (3,9 
103-1,3 
105) Па (30-1 
10-7 мм. рт. ст.) с погрешностью вакуумметров 13BT3-003 и ВМБ-8 соответственно.
Примечание:
I) Давление в камере и шлюзах - абсолютное.
2)Знаком (КР) отмечены параметры, которые являются критериями работоспособности установки.
Установка обеспечивает откачку шлюза загрузки до давления не выше
1,33 Па (1 
10-2 мм. рт. ст.) за время не более 2 мин и измерение давления в шлюзе загрузки в диапазоне (3,9 
103 - 6,7) Па [(30 – 5 
10-2) мм. рт.ст.] с погрешностью вакуумметра 13BT3-003, а в диапазоне давлений (6,7-2,6 10-1) Па
[(5 
10-2 – 2 
10-3 мм рт. ст.] индикацию давления в шлюзе загрузки.
|
|
|
Установка обеспечивает регулирование скорости конвейера в диапазоне от 120 до 400 мм/мин, поддержание ее с нестабильностью (отклонением от среднего значения) не более +5% и отображение скорости конвейера на дисплее.
Отклонение скорости, отображаемой на дисплее, не превышает +10% от действительного значения скорости конвейера.
Примечание.
Действительные значения параметров, определяют по показаниям образцовых (встроенных) средств измерения.
Установка обеспечивает регулирование тока нагревателя пластин в диапазоне от 2 до 4 А, поддержание его с нестабильностью (отклонением от среднего значения) не более +5% и отображение тока нагревателя пластин на дисплее.
Отклонение тока нагревателя, отображаемого на дисплее, не превышает ±10% от показаний амперметра, измеряющего ток нагревателя.
Установка обеспечивает регулирование давления в зоне осаждения в диапазоне (КР) (1,33 
10-1 – 1,33) Па [(1 
10-3 – 1 
10-2) мм pт.cт.] поддержание его на уровне (6,7 
10-1 -1,33) Па [(5 
10-3 - 1 
10-2) мм pт.cт.] с нестабильностью (отклонением от среднего значения) не более ±5%, и отображение давления в зоне осаждения на дисплее,
Отклонение показаний вакуумметра измеряющего давление в зоне осаждения, от давления отображенного на дисплее, не превышает ±10%.
Установка обеспечивает одновременную и раздельную работу трех магнетронов в диапазоне мощности (2-6) кВт, поддержание мощности каждого магнетрона на уровне (4-6) кВт с нестабильностью (отклонением от среднего значения) уровня мощности не более ±3% (КР) и отображение мощности каждого магнетрона на дисплее. Отклонение мощности магнетронов, измеренной с помощью амперметра и вольтметра от мощности, отображаемой на дисплее, не превышает ±10%.
Установка обеспечивает питание катода каждого магнетрона напряжением (350-700) В при токе в магнетроне не более I2A в защиту источника питания от перегрузки при увеличении тока до (15±3)А (КР).
|
|
|
Установка обеспечивает подачу на анод относительно корпуса регулируемого напряжения смещения в диапазоне (30-50)В, не менее, и измерение напряжения смещения в диапазоне (0-50)В с погрешностью не более 2,5%.
Установка обеспечивает автоматическую загрузку пластин на конвейер из кассеты и выгрузку пластин с конвейера в кассету, счёт загружаемых и выгружаемых пластин и световую и звуковую сигнализацию об окончании загрузки и выгрузки пластин (КР).
Установка обеспечивает в режиме "тренировка" автоматическое увеличение мощности включенных магнетронов в диапазоне (0,2-6) кВт со скоростью (0,2 ± 0,1) кВт/мин.
Установка обеспечивает автоматическое уменьшение мощности магнетронов до (0,5±0,1) кВт и включение на дисплее надписей "КАССЕТА ЗАГРУЗКИ ПУСТА" и "ОЖИДАНИЕ" при отсутствии пластин на конвейере и автоматическое увеличение мощности до заданного значения и включение надписи "РАБОТА" вместо надписи "ОЖИДАНИЕ" и отключение надписи "КАССЕТА ПУСТА" - после загрузки пластин.
Установка обеспечивает ручное управление скоростью конвейера, током нагревателя пластин, давлением в зоне распыления и мощностью трех магнетронов.
Установка обеспечивает равномерность толщины наносимых пленок на пластинах диаметром (76-100) мм. Допускаемое отклонение толщины пленки от среднего значения в диапазоне изменения толщины от 0,2 до 1 мкм ± 3%.
Время непрерывной работы установки в автоматическом режиме не менее 16 ч.
Установка сохраняет работоспособность при отклонениях напряжения питающей сети на ± 38/22 В от номинального значения.
Уровень радиопомех, создаваемых установкой, не превышает значений, указанных в Общесоюзных нормах допускаемых индустриальных радиопомех (Нормы В-72), утвержденных Государственной комиссией по радиочастотам СССР 12 июня 1972 г.
Показатели надежности при доверительной вероятности Р=0,8 должны быть в соответствии с ГОСТ 27.003-83 следующими:
- Средняя наработка на отказ, Т, не менее 250 ч.
- Установленная безотказная наработка Tу» не менее 25 ч.
- Полный средний срок службы не менее 6 лет,
- Установленный срок службы, не менее 2,5 лет.
- Коэффициент готовности Кг не менее 0,95.
За критерии отказов установки следует считать отклонения параметров установки от установленных в технических требованиях и обозначенных знаком (КР). В соответствии с ГОСТ 27.401-84 при оценке надежности не учитываются отказы, причины возникновения которых устранены в результате доработок, что должно быть подтверждено техническим обоснованием (расчетом) или дополнительными испытаниями. Не учитываются отказы в случае нарушения потребителем состава, содержания и периодичности работ по техническому обслуживанию установки, указанных в разделе "Техническое обслуживание" ЯИЗ.273.041 ТО, а также в случае отсутствия информации о проведении этих работ, которая должна с периодичностью один раз в полгода направляться предприятию-разработчику по форме таблицы учета технического обслуживания 3.273.041 ТО.
|
|
|
Уровни звуковой мощности в октавных полосах частот не превышают значений, указанных в табл.1.
Таблица 1.1 - Уровни звуковой мощности в октавных полосах частот
| Среднегеометрические частоты октавных полос, Гц | ||||||||
| Уровни звуковой мощности, дБ, не более |
Эргономические требования соответствуют Г0CTII0S3.000-77.
Удельная энергоемкость установки не более 2,8 Вт ч/см2 для диаметра пластин 100 мм.
Удельная материалоемкость установки не более 0,18 кг/см2 для диаметра пластин 100 мм.
Общий вид вакуумной установки 01НИ – 7 – 015 представлен на
рисунке 1.1
Рисунок 1.1 – Общий вид установки 01НИ – 7 - 015
|
|
|
