 |
Схема двухкамерной противоточной установки травления
|
|
|
|
По конструктивному признаку, т. е. в зависимости от структурной схемы и устройства, оборудование для очистки можно разделить на установки и агрегаты.
Установки — машины с одной или несколькими камерами, рассчитанные на применение определенного способа обработки или способа интенсификации процесса. Операцию очистки в этом случае проводят, как правило, в один этап.
Схема двухкамерной противоточной установки травления показана на рисунке выше. Изделия 1 устройством для перемещения кассет 2 переносятся из ванны 3 в ванну 4. Реагент подается через патрубок 5 навстречу обрабатываемым изделиям.
Агрегаты — машины с несколькими камерами, рассчитанными на последовательное или последовательно-параллельное проведение очистки в несколько этапов, отличающихся устройством и способом обработки (рисунок ниже).
Схема агрегата очистки:
1 — камера ультразвукового (УЗ) обезжиривания; 2 — УЗ-излучатель; 3 — сливной вентиль; 4 — центрифуга, 5 — камера отмывки
Узлы крепления при односторонней обработке пластин 2 выполняют в виде вакуумных присосов 1 (рисунок ниже, а), установленных «а центрифуге 3, внутренняя полость которой соединена с вакуумной системой. В этом случае необрабатываемая сторона пластин надежно защищается от подтеков реактивов.
Конструкции узлов крепления пластин на столе
а — с вакуумными присосами:
1 — вакуумный присос; 2 — обрабатываемое изделие: 3 — съемная кассета; 4 —
стол;
Для случаев, когда нет необходимости в защите обратной стороны пластин, применяют подвижные прижимы, способные закрепить пластины различной формы и размеров (рисунок ниже б).
Конструкции узлов крепления пластин на столе
|
|
|
б —с прижимами:
1 — съемная кассета; 2 — обрабатываемое изделие; 3 — прижимы; 4 — фиксирующие палец; 5 — стол;
Под действием центробежных сил эти прижимы поджимают пластины к неподвижным упорам центрифуги. При выполнении в столе сквозных отверстий подвижные прижимы будут контактировать лишь с ребрами закрепляемых пластин, что позволит вести их двустороннюю обработку.
Выполнение опорных гнезд на столе центрифуги с наклоном к горизонтальной плоскости обеспечивает поджим пластин к плоскости стола и упорам за счет центробежных сил, действующих на пластины при вращении центрифуги. При этом на столах центрифуг могут устанавливаться кассеты 1, упорные штыри 5 которых совместно со штырями столов образуют гнезда для пластин (рисунок ниже,в).
Конструкции узлов крепления пластин на столе:
в —со штырями:
1 — съемная кассета; 2. — обрабатываемое изделие; 3 — фиксирующий палец; 4 — стол;
Опорные штыри
Применение в последнем случае съемных кассет облегчает групповую загрузку и выгрузку пластин.
В узлах обработки большинства известных конструкций центрифуг применяются форсунки, подающие распыленную струю реактива или деионизованной воды к обрабатываемым пластинам (рисунок ниже, а), возможно также применение специальных штуцеров для подачи инертного газа, ускоряющего сушку пластин.
Для интенсификации удаления с поверхности пластин загрязнений используют щетки различных типов: вращающиеся цилиндрические (капроновые или колонковые) (рисунок ниже, б), неподвижные плоские капроновые (рисунок ниже, в), торцевые колонковые, совершающие планетарное движение по поверхности обрабатываемых пластин (рисунок ниже, г).
Комбинируя в различных сочетаниях типы приводов для вращения стола, конструкции узлов крепления пластин, а также конструкции узлов гидромеханического воздействия, можно получить машины различного назначения.
|
|
|
Наибольшее применение в отечественной практике и за рубежом нашли центрифуги с узлами обработки в виде форсунок, применяемые для отмывки поверхности пластин с последующей промывкой и сушкой центрифугированием, а также центрифуги с вращающимися цилиндрическими щетками. В последнем случае после очистки и промывки поверхностей пластин щетки отводятся, позволяя осуществить сушку центрифугированием.
Конструкция узлов обработки изделий:
а – струей жидкости:
|
|
|
