 |
Схема 1. Расположение блоков
|
|
|
|
| 3(1) | 7(1) | ||||||||
| 3(2) | 7(2) | ||||||||
Датчик температуры
Блок управления циклом
Блок управления магнетроном
Блок управления вакуумной системой
Блок смещений магнетронов
Блок стабилизации тока разряда
Вакуумметр ВМБ-8
Вакуумметр РВТ
Реле вакуумное
Выключатель сети
Блок УСУПМ-1
Далее мы включили тумблер сеть на блоках ВМБ ВТБ, нажали кнопку 220, расположенную на блоке 9. Затем мы включили механические насосы, находящиеся на блоке 4. Через 20 сек мы открыли клапан откачки предварительного вакуума. Дождались предварительного вакуума не более 6.65 Па/5*10-2 мм рт. ст/ в диффузионном насосе. Затем включили диффузионный насос и подключили сосуд с жидким азотом к азотному питателю и включили подачу азота в ловушку. Соответственно меняли сосуды Дьюара по мере их опорожения.
С истечением 60 мин после включения диффузионного насоса и при достижении давления 6,65 Па мы закрыли клапан форвакуумной откачки и открыли затвор насоса. Затем подняли вверх уплотнения шлюза и магнетронов. Подали азот в шлюзовую камеру.
Затем мы отключили поступление азота и извлекли планетарную систему из камеры. Далее произвели очистку шлюза и обратно опустили планетарную модель в камеру, после этого произвели откачку шлюза.
При достижении давления 1,33 Па/1*10-2 мм рт. ст/ при этом открылся обводный клапан вследствие чего давление в камере повышалось, а затем снова упало. Через несколько секунд мы опустили уплотнение шлюза вниз, повернули карусель.
Дождавшись получения в камере вакуума, мы закрыли кран горячей воды и открыли кран холодной воды и з после выдержки до определенного давления произвели отжиг планетарных систем. Затем мы производили тренировку мишеней. По истечению 20 минут после начала тренировки мишеней мы установили на реле времени магнетронов 000.
|
|
|
Проведение рабочего процесса.
Для этого на блоках 2,3,4, схема 1 выставили режимы в соответствии с таблицей 6. Примечание рис 4.
Рис. 4 Примечание
Мы отжали кнопку ПРОГОН включилась звуковая и световая сигнализация ЗАГРУЗКА после этого мы открыли крышку шлюза, извлекли планетарную систему и загрузили в кассеты рабочие подложки и одну контрольную. Далее очистили шлюзовую камеру и обратно поместили планетарную систему в камеру и закрыли крышку шлюза.
Далее процесс напыления происходил в автоматическом режиме, а также откачка форвакуума из шлюза, нагрев, распыление на магнетронах. Мы наблюдали за этим процессом.
После окончания времени цикла карусель повернулась с позиции на позицию при этом поднялись уплотнения, и началось поступление азота в шлюз. Далее мы загрузили в кассеты рабочие пластины и поместили планетарную систему в шлюз и закрыли крышку. При дальнейшей работе по мере поступления напыленных пластин в шлюз мы производили их выгрузку в транспортные кассеты и загружали кассеты планетарных систем новыми рабочими пластинами
Выключение установки.
Для выключения установки мы произвели следующие действия: нажали кнопку СТОП, выключили нагрев и вращение планетарной системы на блоке 2, выключили оба магнетрона, выключили механический насос откачки шлюзовой камеры, отключили подачу жидкого азота тем самым выключили нагреватель диффузионного насоса. Дождались полного остывания диффузионного насоса и закрыли клапан форвакуумной откачки насоса, выключили механический насос. И завершающим этапом выключения установки являлось выключение тумблера СЕТЬ и закрытие вентилей на магистралях газов и воды.
|
|
|
Дефекты металлизации и резисторов
1. Не допускаются поры, протравы до резистивного слоя поликора или ситалла, уменьшающие ширину металлизированных дорожек проводников более, чем на 30%;
2. Не допускаются на контактных площадках поры, протравы, вырывы и необлуженные участки., в том числе за счет смещения защитного слоя, уменьшающие их площадь более чем на ¼;
3. Не допускается неровный (волнистый) край проводников контактных площадок и резисторов с размером неровности более 10 мкм. Допускают отдельные выступы и нестравленные участки резистивного слоя и металлизации при условии сохранения зазора между пленочными элементами не менее 100мкм;
Не допускаются на резисторах вырывы, протравы, раковины, следы подгонки лазерным лучом, уменьшающие их до размера менее минимальной ширины резистора согласно чертежу на конкретную плату.
5. На резисторах допускаются локальные участки металлизации и наличие в зоне подгонки резисторов материалов защитного слоя;
|
|
|
