Технологический процесс изготовления интерференционных плёнок в вакууме

Описание технологического процесса рассматривается на примере изготовления нейтральных фильтров на основе металлов

Описание технологический процесса начинается с того, что указывается на какие покрытия он распространяется.

Данный техпроцесс распространяется на нейтральные фильтры, полученные методом термического испарения веществ в вакууме нанесением металлических покрытий из Ni и Ti.

1. Общие положения

1.1. Описание назначения данного вида покрытий (нейтральные фильтры предназначены для ослабления светового потока в широком спектральном диапазоне).

а) можно указать этот диапазон

б) можно только оговорить

1.2. Возможные виды данного покрытия, если они есть (зависит от 1.1. подразделяются на фильтры постоянной и переменной плотности)

1.3. Есть ли подразделения одного из указанных видов из 1.2. (изменение плотности по одной из осей – изменение плотности по радиусу или изменение плотности по окружности)

1.4. Параметр, по которому аттестуются оптические свойства данного покрытия – характеристики данного покрытия (см. 1-ю лекцию) (по оптическим свойствам нейтральные фильтры характеризуются коэффициентом пропускания в заданном спектральном диапазоне). В идеале должны указать от чего зависит отклонение приведенной характеристики.

Коэффициент пропускания зависит от толщины наносимого слоя может лежать в пределах от 0,92 до 0,0001 с допусками 5-10% от измеряемого пропускания.

Можно указать еще характер распределения толщины по поверхности оптического элемента.

- характеристика покрытия будет соответствовать либо приведенной в приложении, либо приведенной в ОСТе, т.е. выбрать масштаб графика

1.5. Описание подложки - (покрытие нейтрального фильтра наносится на плоскопараллельные оптические детали из материалов, прозрачных в данной спектральной области. Преимущественно диаметром 100-150 мм и возможно нанесение деталей от 1 мм до 400). Для просветленных покрытий указывается марка стекол.

1.6. Требования к материалу детали и к качеству обработки поверхностей.

Любое покрытие снижает чистоту поверхности на 1-2 класса и покрытие выявляет дефекты полировки.

1.7. Описание основных характеристик покрытия

- химическая устойчивость

- влагостойкость

1.8. Устойчивость по механической прочности.

1.9. Если это требуется, то указывается порог разрушения (для деталей, работающих с лазером или устойчивость к радиации)

Итог: обозначение покрытия на чертеже

Фильтр 4И - никель

Фильтр 15И – титан