Главная | Обратная связь | Поможем написать вашу работу!

III. Описание техпроцесса

⇐ ПредыдущаяСтр 20 из 21Следующая ⇒

Техпроцесс состоит из 3-х этапов.

1. Подготовка оборудования арматуры и детали

2. Нанесение покрытия

3. Контроль

На первом этапе необходимо указать, в чем заключается подготовка оборудования:

3.1.1. механическая очистка вакуумной камеры от ранее осажденных слоев с использованием шлифовальной шкурки, пылесоса.

3.1.2. Протирка камеры спиртом

3.1.3. Установка испарителей в камеру и отжиг или очистка

3.1.4. Загрузка испарителя

3.1.5. Установка образца, по которому происходит контроль и проверка отклонения подложкодержателя при вращении.

3.1.6. Подготовка арматуры для крепления детали

3.1.7. Очистка подложки

3.1.8. Нанесение покрытия

3.1.9. Деталь устанавливается в камере и строго фиксируется

3.1.10. Закрытие камеры

3.1.11. Включение механического агрегата и осуществления откачки до давления 10 Па

3.1.12. Включение диффузионного насоса

3.1.13. Если производится очистка тлеющим разрядом, то указать величину тока и давление, при котором производится эта операция

3.1.14. Возможный нагрев детали (до какой температуры, время, в течение которого выдерживают при указанной температуре до нанесения покрытия)

3.1.15. Включение вращения арматуры

3.1.16. Включение фотометрического контроля

3.1.17. Время и режимы обезгаживания материалов под заслонкой

3.1.18. Установка режимов осаждения материала (начальное давление в рабочей камере и предпочтительная скорость)

3.1.19. При каком значении коэффициентов отражения или пропускания, или времени необходимо останавливать осаждение. Перед 3.1.9 нужно установить на каком из образцов будет осуществляться контроль параметров наносимого покрытия.

3.1.20. Количество перерывов при формировании многослойных систем (после 10-15 слоев)

3.1.21. Из-за толщины многослойной системы уменьшается чувствительность фотометрической системы желательно указать после какого слоя и с помощью чего нужно увеличивать отсчет.

3.1.22. Детальное описание процесса стабилизации пленок в вакууме, т.е. время, через которое из камеры прекращается удаление воздуха, и оно зависит от толщины и состава сформированного покрытия и температуры камеры.

3.1.23. Время, при котором деталь выдерживают в среднем вакууме при отключении высоковакуумного насоса

3.1.24. Указать путь контроля детали.

Приложение 1

⇐ Предыдущая 12 13 14 15 16 17 18 192021 Следующая ⇒