Оборудование и материалы

2.1. Вакуумная камера, в которой создается давление не выше 10^-3 Па и должно обознач. Равномерность покрытия на диаметре, соответствующем максимальному размеру детали.

2.2. Рекомендуемые вакуумные установки ВУ-1Ф; УРМ-3; БА-700; БА-500.

2.3. Каким типом испарителя должно быть оснащена установка. Резистивный, электронно- лучевой, указать тип, размер и материал (лодочка 4х6, толщиной 0,050) испарителя:.

2.4. Описание подложкодержателя (т.к. 3 вида переменной пл-ти, то должно быть 3 вида подложкодержателя). Для получения фильтров с изменением пропускания по одной из осей подложкодержатель должен содержать элемент, совершающий возвратно-поступательное движение вблизи подложки, эскиз которого приведен ниже. Устройство этого элемента:

Устройство состоит из столика с держателем оптической детали и экрана, перемещающимися относительно друг друга. Точность перемещения экрана 0.1-0,01 мм при ширине зоны нанесения от 1 до 20 мм.

Для 2-х других видов покрытий.

2.5. Установка должна содержать:

- механизм вращения деталей, обеспечивающих скорость 20-40 об/мин, что позволяет получить равнотолщинность ±1,5% на Æ 100 мм.

- заслонка, перекрывающая поток испаряемого вещества.

- электроды высокого напряжения или очистки деталей тлеющим разрядом (ионная очистка)

- средства контроля давления, параметров осаждаемой плёнки.

- средствами нагрева подложки с регулятором температуры вне камеры. Если подложка изготовлена из полимерных материалов, то не нужна ионная очистка.

Если габариты подложки менее 5 мм, то необходимо указать на необходимость размещения дополнительного образца, по которому осуществляется фиксация толщины слоев.

Если покрытие содержит слои, толщины которых не кратны l₀/4, то желательно указать, что в камере необходимо наличие кварцевого датчика (резонатора).

Материалы.

2.6. Тот, из которого изготовлено покрытие и в каком он виде (проволока, таблетка – ZrO₂, порошок, плоскопараллельная пластина, гранулы).

2.7. Материал испарителя (проволока – Ti, N, лента – Ti, N, Mo, тигель, изготовленный из меди)

2.8. Сплав алюминиевый для электродов

2.9. Материал для очистки и оборудования, детали кислоты для металлических элементов вакуумной камеры: азотная, соляная+концентрация, щелочь

Для подложки: салфетки батистовые и фланелевые, шкурки наждачные, мыло детское.

Объем перечня определяется назначением требуемого документа.