 |
Основные технические данные и характеристики
|
|
|
|
ООО «ИОНТЕК-нано»
|
УСТАНОВКА МАГНЕТРОННОГО НАПЫЛЕНИЯ
ПОКРЫТИЙ МЕТАЛЛОВ НА ВНУТРЕННЮЮ ПОВЕРХНОСТЬ ЧЭ ТВГ
«КРАУДИОН-М1-12/2»
ТЕХНИЧЕСКОЕ ОПИСАНИЕ И
ИНСТРУКЦИЯ ПО ЭКСПЛУАТАЦИИ
ИТ 218.00.00.000 ТО и ИЭ
2013 г.
Г. Москва
Редакция от 22-04-2013
Оглавление
1. ВВЕДЕНИЕ…………………………………………………………………….3
2. НАЗНАЧЕНИЕ………………………………………………………………...3
3. ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ……..3
4. СОСТАВ УСТАНОВКИ……………………………………………………...5
5. СОСТАВНЫЕ ЧАСТИ УСТАНОВКИ, ИХ НАЗНАЧЕНИЕ И УСТРОЙСТВО…………………………………………………………………….8
6. Панель управления установки…………………………………….20
7. УКАЗАНИЯ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ………………………………………...23
8. ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ УСТАНОВКИ……………………..23
9. ПОРЯДОК РАБОТЫ…………………………………………………………25
10. РЕЖИМ РАБОТЫ……………………………………………………………26
10.1. Загрузка изделий в вакуумную камеру……………………………..26
10.2. Форвакуумная и высоковакуумная откачка камеры «СV1»
- в ручном режиме работы …………………………………..27
- в автоматическом режиме работы ………………………..28
10.3. Работа с источником ионов …………………………………………29
10.4. Работа с магнетронами ………………………………………………32
10.5. Рекомендации при работе с источником ионов и магнетронами (минимальное количество шагов)…………………………………………35
11. БЛОКИРОВКИ………………………………………………………………..43
Приложение 1……………………………………………………………………..44
Приложение 2……………………………………………………………………..46
Приложение 3……………………………………………………………………..51
Приложение 4……………………………………………………………………..52
|
|
|
ВВЕДЕНИЕ
1.1. Техническое описание и инструкция по эксплуатации ИТ218.00.00.000 ТО и ИЭ предназначены для ознакомления с установкой магнетронного напыления покрытий металлов на внутреннюю поверхность чувствительного элемента твердотельного волнового гироскопа (ЧЭ ТВГ) «КРАУДИОН-М1-12/2», разработанной и изготовленной ООО «ИОНТЕК-нано» по техническому заданию ОАО «ИЭМЗ «Купол» (г. Ижевск), и устанавливают правила эксплуатации, соблюдение которых обеспечивает надежное функционирование установки.
НАЗНАЧЕНИЕ
2.1. Установка «КРАУДИОН-М1-12/2» предназначена для нанесения покрытий электропроводящих материалов (прежде всего металлов: In, Ni, Cr, …), магнетронным распылением изготовленных из них мишеней в среде инертного газа (аргон). Установка может быть использована как при отработке технологии нанесения покрытий металлов, так и в производстве небольших партий ЧЭ ТВГ.
2.3. Установка обеспечивает проведение следующих технологических операций:
- безмасляная высоковакуумная откачка вакуумной технологической камеры;
- предварительная ионная очистка ЧЭ ТВГ;
- отпыливание поверхностных (загрязненных) слоев мишеней магнетронов на конусно-цилиндрическую заслонку карусели;
- магнетронное нанесение покрытий металлов, в том числе совместным распылением мишеней двух магнетронов;
- контроль момента окончания процесса напыления по времени или по сигналу кварцевого датчика толщины напыляемых покрытий.
ОСНОВНЫЕ ТЕХНИЧЕСКИЕ ДАННЫЕ И ХАРАКТЕРИСТИКИ
3.1. Предельное остаточное давление в вакуумной камере, Торр………1.0×10-6
3.2. Время достижения давления 1.0×10-5 Торр, мин………………………...≤30
3.3. Время достижения давления 1.0×10-6 Торр, мин………………………...≤60
3.4. Размеры вакуумной камеры:
- подъемного колпака:
- внутренний диаметр, мм………………………….………….....444
- габариты:
- высота, мм…………………………………………………298
|
|
|
- диаметр (с фланцем), мм………………………………....487
- высота подъема вакуумного колпака, мм…………………………….400
3.4. Количество источников ионов CIST-25/0.3, шт……………………...…….1
3.5. Параметры работы источника ионов CIST-25/0.3 от блока питания ИВЭ-341-01SA:
- рабочее давление, Торр……………………………….........2×10–4÷5×10-4
- напряжение разряда, В…………………………………...…+2000÷+3000
- ток разряда, мА………………………………………………….…..10÷30
3.6. Количество магнетронов РМ1-60/1-02А, шт………………………….........2
3.7. Размеры мишеней магнетронов*:
- диаметр, мм………………………………………………….………..62/60
- толщина, мм…………………………………………………….........…4÷6
3.7. Параметры работы магнетронов от блоков питания ИВЭ-141-01SA:
- давление поджига разряда (для мишеней Ø62/60×h6 мм), Торр…...≤6×10-3
- рабочее давление, Торр……………………………….........2×10–3÷5×10-2
- напряжение разряда, В………………………………………….-400÷-750
- ток разряда, А……………………………………………………..0.05÷1.5
3.8. Толщина наносимых покрытий, мкм……………………………0.001÷1000
3.9. Скорость напыления, мкм/час…………………………………………...1÷10
3.10. Количество обрабатываемых ЧЭ ТВГ на карусели, шт………………….8
3.11. Время полного (360°) оборота карусели, мин ……………….………....3,5
3.12. Максимальная электрическая мощность, потребляемая установкой
в установившемся режиме, кВт……………………………………..…...≤6
3.13. Коммуникации:
- вода холодная:
- температура,˚С**..………………………………………...….+20±5
- давление (до понижающего регулятора давления системы
водяного охлаждения установки), бар………………………..…3÷5
- расход воды:
- охлаждение турбомолекулярного насоса, л/мин….………1
- охлаждение источника ионов и кварцевого датчика толщины, л/мин………...........................................................1
- охлаждение магнетронов (каждого из 2-х раздельно), л/мин на 1 кВт мощности...………………………………...………..1
- сжатый воздух:
- давление, Па…………………………………………...4×105¸6×105
- содержание влаги, мг/м3……………………………………..£2049
- точка росы, К…………………………………………………….263
- содержание твердых примесей, мг/м3………………………...£0,1
- при размере частиц, мкм…………………………………………£1
- расход, м3/час……………………………………………………..£2
|
|
|
- аргон газообразный высокой чистоты (ТУ6-2-12-94)
- расход, л/час………………………………………………….…≤3.6
3.14. Габаритные размеры установки:
- стойка вакуумная:
- длина, мм……………………………………………………….1150
- ширина, мм…………………………………………………...….750
| * При выборе размеров мишени необходимо внимательно ознакомиться с техническим описанием и инструкцией по эксплуатации магнетрона ИТ218.07.00.000 ТО и ИЭ **Не ниже точки росы для климатических условий в помещении, где эксплуатируется оборудование. Рекомендуется при развакуумировании вакуумной камеры отключать подачу холодной воды в магнетроны и другие технологические устройства (источник ионов, кварцевые датчики контроля толщины) и/или подавать в них горячую воду, а для разгерметизации вакуумной камеры использовать воздух или азот, пропуская напускаемый газ через осушитель, имеющийся в составе установки. |
- высота, мм…………………………………………………..….1490
- высота с поднятым колпаком, мм…………………………….1890
- стойка питания и управления:
- длина, мм…………………………………………………………600
- ширина, мм…………………………………………………...….600
- высота, мм…………………………………………………..…..1650
- сухой форвакуумный насос:
- длина, мм…………………………………………………...……697
- ширина, мм……………………………………………………....193
- высота, мм…………………………………………….………….322
СОСТАВ УСТАНОВКИ
4.1. Стойка вакуумная:
4.1.1. Рама из алюминиевого профиля на регулируемых опорах, с защитными панелями и замками
4.1.2. Камера вакуумная технологическая, в том числе:
- подъемный вакуумный колпак со смотровым окном;
- нижняя плита с откачным патрубком и защитной сеткой;
- кольцевое уплотнение (витон)
4.1.2.1. Электромеханический механизм подъема вакуумного колпака
4.1.3. Система магнетронного распыления, в том числе:
- источник ионов CIST-25/0.3 (см. ИТ138.00.00.00/ИТ191.01.05.000 ТО и ИЭ), 1 штука;
- магнетроны РМ1-60/1-02А (см. ИТ218.07.00.000 ТО и ИЭ), 2 штуки;
- карусель ИТ218.05.00.000СБ, 1 штука;
- заслонка карусели ИТ218.05.00.005, 1 штука
4.1.5. Система контроля толщины напыляемых покрытий, в том числе:
|
|
|
- монитор толщины SQM-160 (в составе стойки питания и управления, Inficon, США);
- водоохлаждаемый держатель кварцевого датчика с вакуумным вводом и заслонкой с пневмоприводом (Inficon, США);
- кварцевый резонатор 6 МГц (Inficon, США);
- комплект осциллятора с сигнальными кабелями (Inficon, США)
4.1.6. Система напуска рабочего газа двухканальная, в том числе:
- клапан вакуумный электромагнитный XSA3-32V-5G, VCR, (SMC, Япония), 2 штуки;
- регулятор массового расхода газов РРГ-10, 3.6 л/час, 2 штуки;
- «газовая линейка», 2 штуки, в том числе в составе каждой:
- входной шаровый кран B2V-F-4N (Корея);
- фильтр FT-F-4N1, 1 мкм (Корея);
- регулятор давления DRA100-A050S-LTO-4FS-G1S с манометром (Корея).
4.1.7. Вакуумная система в составе:
- насос форвакумный сухой АСР 28, DN 25 ISO-KF, 7.5 л/сек (Adixen, Франция);
- ловушка форвакуумная (фильтр) IPF 25, DN 25 ISO-KF, (Adixen, Франция);
- насос турбомолекулярный АТН-300, DN 100 ISO-К, 250 л/сек (Adixen, Франция);
Рис. 1. Установка «КРАУДИОН-М1-12/2», общий вид (3D-модель)
- комбинированный датчик давления микроПирани/холодный катод 972В DualMag Transduser, DN 25 ISO-KF (MKS, США);
- преобразователь давления микроПирани 925, DN 25 ISO-KF (MKS, США);
- преобразователи давления ПМТ-6-3М-1, 2 штуки;
- затвор вакуумный с пневмоприводом 11212-0403R, DN 100 ISO-F, корпус из нержавеющей стали (HVA, США);
- клапаны вакуумные угловые XMA-25, с пневмоприводом, DN 25 ISO-KF (SMC, Япония), 2 штуки;
- клапан вакуумный угловой XMD-25 (плавной откачки), с пневмоприводом, DN 25 ISO-KF (SMC, Япония), 1 штука;
- трубопроводы и соединители (в том числе сильфонные) вакуумной системы
4.1.8. Устройство регулирования скорости откачки вакуумной системы
ИТ215.01.04.000СБ (узел дроссельный), DN 100 ISO-F, в том числе:
- дроссельная заслонка;
- вакуумный ввод вращения МЖУ;
- электропривод поворота
4.1.9. Магистраль напуска осушенного воздуха, в том числе:
- клапан вакуумный электромагнитный XSA1-12V-5G (SMC, Япония);
- фильтр микрочастиц SFA-203-025G, 100Å (SMC, Япония);
- фильтр-запахопоглотитель AMF150C5G (SMC, Япония);
- осушитель воздуха мембранный IDG5-F025G (SMC, Япония);
- микрофильтр с индикатором AM150C-F02-T5G (SMC, Япония)
4.1.10. Модульная система подготовки и распределения сжатого воздуха («пневмоостров», SMC, Япония), в том числе:
- реле давления;
- фильтр-регулятор давления;
- устройство плавной подачи воздуха;
- многосекционная распределительная панель;
- электромагнитные клапаны (пневмораспределители 3/2) подачи cжатого воздуха
4.1.11. Система водяного охлаждения, в том числе:
- коллектор с входным шаровым краном G3/4², промывным фильтром FK-06-3/4АА Honeywell, 3/4² (100 мкм) с редуктором (10 бар) и ручными шаровыми кранами Bugatti G1/2², 5 штук;
- клапан электромагнитный VXZ2240-04F-5D1, 2/2, н/з, G1/2² (SMC, Япония), 4 штуки;
|
|
|
- реле расхода для жидкостей, IFW510-04-Х300, G1/2², 0.3÷3.0 л/мин (SMC, Япония), 4 штуки;
- сливная воронка (открытый слив);
- трубка TU1208, TU1065, быстроразъемные фитинги (SMC, Япония).
4.1.12. Система электропитания и управления (отдельно стоящая стойка 19”), в том числе:
- входной модуль защиты, преобразования и распределения электропитания;
- контроллер турбомолекулярного насоса АСТ 600ТН (Adixen, Франция);
- блоки питания и индикации комбинированного датчика низкого и высокого вакуума и датчика Пирани PDR900 (MKS, США), 2 штуки;
- PLC контроллер системы управления, модули ввода-вывода данных (дискретного, релейного, аналогового);
- cенсорная операторская ЖК панель MT8150X, диагональ 15”;
- блок питания источника ионов ИВЭ-341-01SA (выходная мощность 0.5 кВт, напряжение +3000 В, ток 0.01÷0.2 А, внешний интерфейс RS 485, аналоговый вход-выход по току), 1 штука;
- блоки питания магнетронов ИВЭ-141-01SA (выходная мощность 1.5 кВт, напряжение -750 В, ток 0.05÷2 А, внешний интерфейс RS 485, аналоговый вход-выход по мощности), 2 штуки;
- монитор толщины SQM-160 (Inficon, США), 1 штука
4.1.13. Комплект принадлежностей, техдокументации и ЗИП:
- кабель питания;
- техдокументация:
- техническое описание и инструкция по эксплуатации ИТ218.00.00.000 ТО и ИЭ;
- паспорт ИТ218.00.00.000 ПС;
- паспорта и инструкции на основные компоненты оборудования;
- комплект ЗИП.
|
|
|
