Главная | Обратная связь | Поможем написать вашу работу!
МегаЛекции

В) – капельная фаза на заслонке карусели при напылении покрытий индия при большой мощности разряда




Панель управления установки

6.1. Операторский сенсорный ЖК экран Weintak серии МТ8150Х с диагональю 15” предназначена для управления установкой при проведении технологического процесса магнетронного напыления (см. Приложение 2).

Мнемосхема установки

Мнемосхема установки (см. рис. 13). Перечень элементов мнемосхемы (см. табл. 2).

 

 

Таблица 2

Обозначение Наименование Кол-во
ЭЛЕМЕНТЫ
СV1 Камера вакуумная колпаковая  
NL1 Насос форвакуумный ACP 28  
BМ1 Ловушка форвакуумная (фильтр) IPF 25    
NR1 Насос турбомолекулярный ATH 300  
L1 Сильфон FX 1000  
VP1,VP2 Клапан вакуумный с пневмоприводом XMA-25  
VP3 Клапан вакуумный с пневмоприводом XMD-25  
VE1, VE3 Клапан вакуумный электромагнитный XSA3-32V-5G  
VE2 Клапан вакуумный электромагнитный XSA1-12V-5G  
VT1 Затвор вакуумный с пневмоприводом 11212-0403R  
DT1 Заслонка дросселирующая с электроприводом Belimo  
SF1, SF5 Фильтр Т-образный FT-F-4N  
FG1, FG2 Регулятор расхода газов РРГ-10  
WF1, WF2 Регулятор давления DRA100-A050S-LT0-4FS-G1S-Guage  
VП1, VП2 Клапан ручной B2V-F-4N  
SF2 Микрофильтр с индикатором AM150C-F02-T  
SF3 Фильтр запахопоглотитель АМF150C-FO2  
SF4 Фильтр микрочастиц SFA-203-01  
HF1 Мембранный осушитель воздуха IDG5-F02  
PT1, PT2 Преобразователь давления ПМТ6-3М-1  
PT3/PM1 Преобразователь давления микро Пирани/ холодный катод 972В  
PT4 Преобразователь давления микро Пирани 925  
КНОПКИ
Ручной режим Переключение автоматического/ручного режима работы  

Рис. 14. Мнемосхема установки


NR1 Подача воды для охлаждения турбомолекулярного насоса и индикация наличия воды (вкл/выкл)  
AIR Индикация наличия сжатого воздуха (вкл/выкл)  

УКАЗАНИЯ МЕР БЕЗОПАСНОСТИ

Установка относится к радиоэлектронному оборудованию с напряжением свыше 1000 В. Источником высокого напряжения являются блоки питания ИВЭ-141-01SA (2 шт.) и ИВЭ-341-01SA. При работе с установкой необходимо строго выполнять требования безопасности, изложенные в руководствах по эксплуатации/технических описаниях на блоки питания ИВЭ-141-01SA и ИВЭ-341-01SA и на работающие от них устройства: магнетроны РМ1-60/1-02А и источник ионов CIST-25/0.3.

7.2. При работе с установкой необходимо руководствоваться разделом «К» «Правил техники безопасности и производственной санитарии».».

7.3. Установка рассчитана на эксплуатацию в соответствии с требованиями, изложенными в ОСТ II 050.067-82 «ИЭТ. Гигиена и эксплуатация. Общие технические требования».

7.4. Наладочные работы, осмотры и ремонт механизмов установки производить только после отключения установки от сети питания с соблюдением правил техники безопасности.

7.5. К работе на установке допускаются лица, изучившие настоящую инструкцию, инструкцию по технике безопасности при работе на оборудовании, а также прошедшие инструктаж по безопасности труда на рабочем месте и имеющие квалификационную группу по электробезопасности не ниже III.

К техническому обслуживанию установки допускаются лица, имеющие квалификационную группу по технике безопасности не ниже III.

7.6. При эксплуатации установки необходимо дополнительно руководствоваться составленными с учетом местных условий инструкциями по технике безопасности по эксплуатации данного оборудования, а также требованиями ПУЭ, ПТЭ и ПТБ Электроустановок потребителей.

7.7. Запрещается во время работы отключать кабели, соединяющие между собой отдельные блоки установки.

 

 

ТРЕБОВАНИЯ К ПОДКЛЮЧЕНИЮ УСТАНОВКИ

Подготовка к работе

8.1.1. Установку допускается эксплуатировать в помещениях не хуже ОсЧ-2-2 по Н587-75 и категории 1 группы «в» по ОСТ 1 80492-82.

8.1.2. Дополнительных, специальных мер по охране окружающей среды не требуется.

8.1.3. Для доступа ко всем элементам, требующим осмотра, регулировки, проверки, замены и ремонта требуется свободное пространство размером не менее 0,8 м от боковой стенки по всему периметру.

8.1.4. В помещении должны быть:

- трехфазная четырехпроводная с нулевым проводом сеть переменного тока частотой 50 Гц и напряжением 380 В. Норма качества электроэнергии по ГОСТ 13109-97;

- шина защитного заземления;

- сжатый воздух с давлением от 4×105 до 6×105 Па с содержанием влаги не более 2049 мг/м3, соответствующей точке росы при температуре 263˚К; содержание твердых примесей не более 0,1 мг/м3 при размере частиц не более 1 мкм, расход сжатого воздуха не более 2 м3/час;

- магистраль подачи холодный воды на охлаждение устройств установки температурой +(20±5)˚С под давлением 3÷5 бар:

- охлаждение турбомолекулярного насоса АТН 300, расход не менее 1 л/мин;

- охлаждение источника ионов и кварцевого датчика толщины, расход не менее 1 л/мин;

- охлаждение магнетронов (каждого из 2-х раздельно), расход не менее 1 л/мин на 1 кВт мощности каждого магнетрона.

8.1.5. В данной установке предусмотрен общий подводящий коллектор и отходящие от него четыре параллельных магистрали водяного охлаждения. Также предусмотрены четыре независимых сливных магистралей, на каждой из которых установлено реле расхода воды. Реле расхода установлены непосредственно на воронке открытого слива, что обеспечивает низкое гидравлическое сопротивление каждой магистрали и возможность независимо регулировать потоки охлаждающей воды в каждой магистрали.

 

Поделиться:





Воспользуйтесь поиском по сайту:



©2015 - 2024 megalektsii.ru Все авторские права принадлежат авторам лекционных материалов. Обратная связь с нами...