 |
Форвакуумная и высоковакуумная откачка камеры может производиться как в ручном, так и в автоматическом режимах.
|
|
|
|
Откачка на форвакуум и высокий вакуум в ручном режиме работы:
10.2.1. Включить форвакуумный насос «NL1», нажать на ЖК экране на соответствующую кнопку. Открыть клапан «VP1». Контроль давления осуществляется по преобразователю давления ПМТ6-3М-1 «PT1»: визуально по элементу на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT1» на ЖК экране загорится зеленым цветом).
10.2.2. Произвести откачку камеры на форвакуум через байпасный клапан «VP3». Открыть клапан «VP3» -нажать на ЖК экране на соответствующую кнопку. Контроль давления осуществляется по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1»: визуально по элементу на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT3/PM1» на ЖК экране загорится зеленым цветом) или по блоку питания и индикации PDR900/2.
10.2.3. Произвести форвакуумную откачку турбомолекулярного насоса «NR1». Закрыть клапан «VP3». Открыть клапан «VP2». Контроль давления осуществляется по преобразователю давления «PT2»: визуально по элементу на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT2» на ЖК экране загорится зеленым цветом.
10.2.4. Подать воду для охлаждения турбомолекулярного насоса. Нажать кнопку «
».
10.2.5. Осуществить запуск турбомолекулярного насоса «NR1». Для этого необходимо включить турбомолекулярный насос - на ЖК экране нажать кнопку «NR1». Время выхода насоса на режим около 3-х минут. Контроль выхода насоса на режим осуществляется по индикатору на блоке питания «АСТ 600ТН» и визуально на ЖК экране: элемент «NR1» подсветится зеленым цветом.
| ВНИМАНИЕ! Турбомолекулярный насос не может работать с атмосферы, так как для его пуска и постоянной работы требуется форвакуум с его низковакуумной стороны. |
|
|
|
10.2.6. Произвести высоковакуумную откачку вакуумного коллектора «CV1». Открыть вакуумный затвор «VТ1» (на ЖК экране нажать на соответствующий элемент), открыть дросселирующую заслонку «DТ1» (на ЖК экране нажать на соответствующий элемент, на элементе появится надпись «открыт»). Контроль давления осуществляется по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1»: визуально по элементу на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT3/PM1» на ЖК экране загорится зеленым цветом) или по блоку питания и индикации PDR900/2.
Откачка на форвакуум и высокий вакуум в автоматическом режиме работы:
Для того чтобы произвести процесс откачки на фор. и высокий вакуум в автоматическом режиме работы необходимо на ЖК экране нажать кнопку «
» (при этом надпись «ручной режим» сменится на надпись «автоматический режим»).
Подача сжатого воздуха на пневмоустройства установки произойдет автоматически (кнопка «СЖАТЫЙ ВОЗДУХ» подсветится).
Автоматически включится форвакуумный насос «NL1», откроется клапан «VP1». Контроль давления осуществляется автоматически по преобразователю давления ПМТ6-3М-1 «PT1» (на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT1» загорится зеленым цветом)).
Автоматически осуществится откачка камеры на форвакуум через байпасный клапан «VP3»: откроется клапан «VP3». Контроль давления осуществляется автоматически по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1» (на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT3/PM1» загорится зеленым цветом)).
Автоматически осуществится форвакуумная откачка турбомолекулярного насоса «NR1»: закроется клапан «VP3», откроется клапан «VP2». Контроль давления осуществляется автоматически по преобразователю давления ПМТ6-3М-1 «PT2» (на ЖК экране (при наличии (или достижении) необходимого форвакуума в системе индикатор «PT2» загорится зеленым цветом)).
|
|
|
Автоматически произойдет подача воду для охлаждения турбомолекулярного насоса. Осуществится запуск турбомолекулярного насоса «NR1».
| Примечание: время выхода насоса на режим около 3-х минут. |
После выхода насоса на режим (контроль выхода насоса на режим осуществляется по индикатору на блоке питания «АСТ 600ТН» и визуально на ЖК экране: элемент «NR1» подсветится зеленым цветом) автоматический режим работы переключится на ручной (надпись над кнопкой «»«автоматический режим» сменится на надпись «ручной режим»).
Далее произвести высоковакуумную откачку в соответствии с п. 10.2.6.
Работа с источником ионов
10.3.1. В главном меню выбрать пункт «Процесс напыления».
10.3.2. Включить вращение изделий. Нажать на кнопку «
». Появится надпись «изделия вращаются».
10.3.3. Произвести позиционирование изделий относительно источника ионов. Установите карусель в исходное положение: изделие №1 расположено напротив источника ионов (через смотровое окно видна метка), изделие №7 расположено под магнетроном. Необходимо нажать на кнопку «
» чтобы выставить исходное положение карусели (над кнопкой загорится светодиод) при этом на кнопке «
» появится надпись «шаг 1».
| ВНИМАНИЕ! По умолчанию исходное положение карусели – изделие №1 расположено напротив источника ионов, изделие №7 находится под магнетроном. |
| Внимание! Если карусель находится в исходном положении (на кнопке «» надпись «шаг 1») то кнопка «» не нажмется, так как карусель и так находится в исходном положении.
|
10.3.4. Произвести напуск газа (аргона) в источник ионов. Открыть ручной клапан (с редуктором давления) на баллоне с газом (аргоном), выставить значение давления газа. С помощью регулятора давление «WF1» (который расположен в «газовой линейке») задать значение давления газа, которое должно быть в два раза меньше того значения давление, которое выставлено на редукторе баллона с газом (аргоном).
С помощью РРГ-10 задать необходимое значение расхода газа. На ЖК экране нажать на нижнее значение символа «FG1» «
», на экране появится калькулятор, с помощью которого введите необходимое значение расхода газа (максимальный расход РРГ-10 – 3,6 л/час).
|
|
|
| Примечание: Расход газа задается в % соотношении к максимальному расходу РРГ-10, пересчет значения расхода газа осуществляется по формуле: расход газа (л/час) = {максимальное значение расхода газа РРГ 10 (л/час) ×заданное значение расхода газа (%)}/100%. |
Открыть клапан напуска газа в источник ионов «VE1». Убедиться в том, что дросселирующая заслонка «DT1» открыта (на ЖК экране нажать на соответствующий элемент, на элементе появится надпись «открыт»). Контроль давления осуществляется по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1» или по блоку питания и индикации PDR900/1. Текущее значение расхода газа в % будет отображаться на верхнем значение символа «FG1» «
».
10.3.5. Подать воду для охлаждения источника ионов. В главном меню выбрать пункт «Система охлаждения», открыть клапаны «WE3». Наличие воды проверяется по реле расхода жидкости «W3» (индикатор горит зеленым цветом на ЖК экране) и визуально. В том случае, если нет водяного охлаждения, то на ЖК экране появиться следующее сообщение о необходимости проверки водяного охлаждения устройства.
10.3.6. Открыть заслонку над изделиями. Для этого необходимо нажать кнопку «управление заслонкой» (нажать на надпись «заслонка закрыта» и удерживать ее ~ 3-х секунд после чего надпись изменится на надпись «ход»). После того, как заслонка откроется на кнопке появится надпись «заслонка открыта».
| Примечание: открытие заслонки занимает ~ 3.5 минут. |
10.3.7. Подать питание на блок источника ионов. Нажать на кнопки «Источник ионов». На экране появится окно задания параметров источника ионов.
10.3.8. Задать параметры процесса ионной очистки. Задать ток (диапазон от 0 до 300 мА).
| Примечание: Параметры процесса ионной очистки также можно задать с блока питания источника ионов в соответствии с ТО на блок ИВЭ-341-01SA. |
10.3.9. Произвести процесс ионной очистки (нажать кнопку «ТОК», при этом она подсветится).
| ПРИМЕЧАНИЕ: При работе блока питания источника ионов на ЖК экране появится номер изделия «1»÷«8» (того, которое в данной момент стоит напротив источника ионов), а напротив номера светодиод (индикатор, который показывает что данное изделие обработано, причем это отображение не реального действия, а подсказка оператору). Соответственно после подачи «ТОКа» индикатор рядом с номером изделия №1 или №2 или …№8 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) о том, что оператор проводил/проводит/собирается проводить процесс ионной очистки данного изделия). Если по каким-либо причинам процесс не был завершен оператором (очистка данного изделия не произведена оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). По завершению обработки всех изделий необходимо произвести сброс всех индикаторов вручную (нажать на них, и удерживать в течение нескольких минут, по очереди, индикаторы погаснут). |
|
|
|
Примечание: В меню «Наладка» можно задать время ионной очистки по таймеру. Для этого напротив надписи «Источник ионов» нажать на кнопку « » (задание времени в минутах) или « » (задание времени в секундах) на ЖК экране появится калькулятор, с помощью которого необходимо ввести значение времени от 0 до 60 минут.
|
| В том случае, если таймер активирован (задано время), процесс ионной очистки завершится автоматически по истечению заданного времени: погаснет индикация кнопки «ТОК». |
10.3.10. По завершении процесса ионной очистки изделия №1 необходимо нажать на кнопку «ТОК» (при этом погаснет ее индикация) или выключить блок нажать кнопку «Источник ионов» (блок обесточится). Прекратить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «вращение изделий»). Произвести позиционирование. Нажать на кнопку «».
| Примечание: шаг 1 –изделие №1 расположено напротив источника ионов (исходное положение карусели); изделие №7 расположено напротив магнетрона шаг 2 – изделие №2 шаг 3 – изделие №3 шаг 4 – изделие №4 шаг 5 – изделие №5 шаг 6 – изделие №6 шаг 7 – изделие №7 шаг 8 – изделие №8). |
Далее произвести процесс ионной очистки следующего изделия нажать кнопку «ТОК» (при этом она подсветится) или включить блок питания (нажать кнопку «Источник ионов»), задать ток, если блок был включен.
10.3.11. По завершении процесса ионной очистки всех необходимых изделий выключить блок нажать кнопку «Источник ионов» (блок обесточится).
Прекратить подачу газа, закрыть клапан «VE2», по РРГ-10 задать расход газа 0%. Произвести откачку на высокий вакуум. Контроль давления осуществляется по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1» или по блоку питания и индикации PDR900/1.
|
|
|
Приступить к процессу магнетронного напыления.
Работа с магнетронами
10.4.1. Включить вращение изделий. Нажать на кнопку «». Появится надпись «изделия вращаются».
10.4.2. Произвести позиционирование изделий относительно магнетрона.
| ВНИМАНИЕ! По умолчанию исходное положение карусели – изделие №1 расположено напротив источника ионов. |
Установите карусель в исходное положение: изделие №1 расположено напротив источника ионов (через смотровое окно видна метка), изделие №7 расположено под магнетроном. Необходимо нажать на кнопку «» чтобы выставить исходное положение карусели (над кнопкой загорится светодиод) при этом на кнопке «» появится надпись «шаг 1».
| Внимание! Если карусель находится в исходном положении (на кнопке «» надпись «шаг 1») то кнопка «» не нажмется, так как карусель и так находится в исходном положении.
|
10.4.3. Произвести напуск газа (аргона) в вакуумную камеру. Открыть ручной клапан (с редуктором давления) на баллоне с газом (аргоном), выставить значение давления газа. С помощью регулятора давление «WF2» (который расположен в «газовой линейке») задать значение давления газа, которое должно отличаться в два раза от того значения давление, которое выставлено на редукторе баллона с газом (аргоном).
С помощью РРГ-10 задать необходимое значение расхода газа. На ЖК экране нажать на нижнее значение символа «FG2» «
», на экране появится калькулятор, с помощью которого введите необходимое значение расхода газа (максимальный расход РРГ-10 – 3,6 л/час).
| Примечание: Расход газа задается в % соотношении к максимальному расходу РРГ-10, пересчет значения расхода газа осуществляется по формуле: расход газа (л/час) = {максимальное значение расхода газа РРГ 10 (л/час) ×заданное значение расхода газа (%)}/100%. |
Открыть клапан напуска газа в источник ионов «VE3».
10.4.4. Закрыть дросселирующую заслонку «DT1» (на ЖК экране нажать на соответствующий элемент, на элементе появится надпись «закрыт»). Контроль давления осуществляется по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1» или по блоку питания и индикации PDR900/1. Текущее значение расхода газа в % будет отображаться на верхнем значение символа «FG2» «
».
10.4.6. Подать воду для охлаждения источника ионов. В главном меню выбрать пункт «Система охлаждения», открыть клапаны «WE2». Наличие воды проверяется по реле расхода жидкости «W2» (индикатор горит зеленым цветом на ЖК экране) и визуально. В том случае, если нет водяного охлаждения, то на ЖК экране появиться следующее сообщение о необходимости проверки водяного охлаждения устройства.
10.4.6. Открыть заслонку над изделиями. Для этого необходимо нажать кнопку «управление заслонкой» (нажать на надпись «заслонка закрыта» и удерживать ее ~ 3-х секунд после чего надпись изменится на надпись «ход»). После того, как заслонка откроется на кнопке появится надпись «заслонка открыта».
| Примечание: открытие заслонки занимает ~ 3.5 минут. |
10.4.7. Подать питание на блок магнетрона. Нажать на кнопки «Магнетрон №1». На экране появится окно задания параметров напыления.
10.4.8. Задать параметры процесса напыления. Задать мощность.
| Примечание: Параметры процесса напыления также можно задать с блока питания в соответствии с ТО на блок ИВЭ-141-01SA. |
| Примечание: Разряд магнетрона, как правило горит устойчиво при давлении Р = 5×10-3 мм рт. ст., в том случае если требуется проводить процесс при более низком давлении, например Р = 3×10-3 мм рт. ст., то используется поджиг при минимальной мощности (при этом разряд будет гореть устойчиво). Поджиг можно осуществить в ручную (не нажимая кнопки «МОЩНОСТЬ»). Для этого необходимо на блоке ИВЭ-141-01SAнажать кнопку «ЕV/DEV» (см. описание на блок ИВЭ-141-01SA). |
10.4.9. Произвести процесс напыления (нажать кнопку «МОЩНОСТЬ», при этом она подсветится).
| ПРИМЕЧАНИЕ: При работе блока питания магнетрона на ЖК экране появится индикатор (напротив того изделия, которое в данной момент стоит под магнетроном; индикатор показывает что данное изделие напылено, причем это отображение не реального действия, а подсказка оператору). Соответственно после подачи «МОЩНОСТи» индикатор рядом с номером изделия №1 или №2 или …№8 подсветится (индикатор сигнализирует (подсказывает) о том, что оператор проводил/проводит/собирается проводить процесс напыления данного изделия). |
| Если по каким-либо причинам процесс напыления не был завершен оператором (напыление данного изделия не произведено оператором) необходимо сбросить показание индикатора: выключить блок питания, произвести сброс индикатора (нажать на него и удерживать в течение нескольких минут, индикатор погаснет). |
| По завершению напыления всех изделий необходимо произвести сброс всех индикаторов вручную (нажать на них, и удерживать в течение нескольких минут, по очереди, индикаторы погаснут). |
| Примечание: В меню «Наладка» можно задать время напыления по таймеру. Для этого напротив надписи «Магнетрон» нажать на кнопку «» (задание времени в минутах) или «» (задание времени в секундах) на ЖК экране появится калькулятор, с помощью которого необходимо ввести значение времени от 0 до 60 минут.
|
| В том случае, если таймер активирован (задано время), процесс напыления завершится автоматически по истечению заданного времени: погаснет индикация кнопки «МОЩНОСТЬ». |
| Примечание: во время процесса напыления с помощью кварцевого датчика толщины с пневмозаслонкой можно производить замер толщины напыляемого покрытия в соответствии с описанием на прибор. Для того чтобы открыть заслонку над датчиком на ЖК экране необходимо нажать кнопку «заслонка датчика», появится надпись «датчик открыт». |
10.4.10. По завершении процесса напыления изделия №1 необходимо нажать на кнопку «МОЩНОСТЬ» (при этом погаснет ее индикация) или выключить блок нажать кнопку «Магнетрон» (блок обесточится). Прекратить вращение изделия (нажать на кнопку «», на кнопке появится надпись «вращения изделия»). Произвести позиционирование. Нажать на кнопку «».
| Примечание: шаг 1 –изделие №1 расположено напротив источника ионов (исходное положение карусели); изделие №7 расположено напротив магнетрона шаг 2 – изделие №2 шаг 3 – изделие №3 шаг 4 – изделие №4 шаг 5 – изделие №5 шаг 6 – изделие №6 шаг 7 – изделие №7 шаг 8 – изделие №8). |
Далее произвести процесс напыления следующего изделия нажать кнопку «МОЩНОСТЬ» (при этом она подсветится) или включить блок питания (нажать кнопку «Магнетрон»), задать ток, если блок был включен.
10.4.11. По завершении процесса напыления всех необходимых изделий выключить блок нажать кнопку «Магнетрон» (блок обесточится). Отрыть дросселирующую заслонку «DT1». Прекратить подачу газа, закрыть клапан «VE3», по РРГ-10 задать расход газа 0%.
10.4.12. Если дальше не предполагается проводить процесс напыления на изделия, необходимо осуществить напуск осушенного воздуха в камеру «CV1» для того, чтобы открыть ее и произвести выгрузку образцов.
Для этого необходимо: закрыть вакуумный затвор «VТ1», открыть клапан напуска «VE2». Выключите турбомолекулярный насос «NR1», при этом форвакуумную откачку необходимо продолжать до полной остановки турбомолекулярного насоса. Закрыть клапан «VP2», «VP1». Выключить форвакуумный насос «NL1». Контроль давления осуществляется по преобразователю давления Пирани 972В «PT3/PM1» или по блоку питания и индикации PDR900/1. Если давление в камере равно атмосферному, то оператору необходимо произвести подъем камеры в соответствии с п. 10.1.
|
|
|
