Главная | Обратная связь | Поможем написать вашу работу!
МегаЛекции

Схема двухкамерной противоточной установки травления




По конструктивному признаку, т. е. в зависимости от структур­ной схемы и устройства, оборудование для очистки можно разде­лить на установки и агрегаты.

Установки — машины с одной или несколькими камерами, рас­считанные на применение определенного способа обработки или способа интенсификации процесса. Операцию очистки в этом слу­чае проводят, как правило, в один этап.

Схема двухкамерной противоточной установки травления пока­зана на рисунке выше. Изделия 1 устройством для перемещения кассет 2 переносятся из ванны 3 в ванну 4. Реагент подается через па­трубок 5 навстречу обрабатываемым изделиям.

Агрегаты — машины с несколькими камерами, рассчитанными на последовательное или последовательно-параллельное проведе­ние очистки в несколько этапов, отличающихся устройством и спо­собом обработки (рисунок ниже).

 

Схема агрегата очистки:

1 — камера ультразвукового (УЗ) обезжиривания; 2УЗ-излучатель; 3 — сливной вентиль; 4 — центрифуга, 5 — камера отмывки

Узлы крепления при односторонней обработке пластин 2 вы­полняют в виде вакуумных присосов 1 (рисунок ниже, а), установлен­ных «а центрифуге 3, внутренняя полость которой соединена с вакуумной системой. В этом случае необрабатываемая сторона пла­стин надежно защищается от подтеков реактивов.

Конструкции узлов крепле­ния пластин на столе

а — с вакуумными присосами:

1 — вакуумный присос; 2обрабатывае­мое изделие: 3 — съемная кассета; 4 —

стол;

 

Для случаев, когда нет необходимости в защите обратной сто­роны пластин, применяют подвижные прижимы, способные закре­пить пластины различной формы и размеров (рисунок ниже б).

Конструкции узлов крепле­ния пластин на столе

б —с прижимами:

1 — съемная кассета; 2 — обрабатываемое изделие; 3 — прижимы; 4 — фиксирующие палец; 5 — стол;

 

Под действием центробежных сил эти прижимы поджимают пластины к неподвижным упорам центрифуги. При выполнении в столе сквоз­ных отверстий подвижные прижимы будут контактировать лишь с ребрами закрепляемых пластин, что позволит вести их двусто­роннюю обработку.

Выполнение опорных гнезд на столе центрифуги с наклоном к горизонтальной плоскости обеспечивает поджим пластин к пло­скости стола и упорам за счет центробежных сил, действующих на пластины при вращении центрифуги. При этом на столах цент­рифуг могут устанавливаться кассеты 1, упорные штыри 5 кото­рых совместно со штырями столов образуют гнезда для пластин (рисунок ниже,в).

Конструкции узлов крепле­ния пластин на столе:

в —со штырями:

1 — съемная кассета; 2. — обрабатываемое изделие; 3 — фиксирующий палец; 4 — стол;

Опорные штыри

Применение в последнем случае съемных кассет об­легчает групповую загрузку и выгрузку пластин.

В узлах обработки большинства известных конструкций цент­рифуг применяются форсунки, подающие распыленную струю реактива или деионизованной воды к обрабатываемым пластинам (рисунок ниже, а), возможно также применение специальных штуцеров для подачи инертного газа, ускоряющего сушку пластин.

Для интенсификации удаления с поверхности пластин загряз­нений используют щетки различных типов: вращающиеся цилинд­рические (капроновые или колонковые) (рисунок ниже, б), неподвижные плоские капроновые (рисунок ниже, в), торцевые колонковые, соверша­ющие планетарное движение по поверхности обрабатываемых пластин (рисунок ниже, г).

Комбинируя в различных сочетаниях типы приводов для вра­щения стола, конструкции узлов крепления пластин, а также кон­струкции узлов гидромеханического воздействия, можно получить машины различного назначения.

Наибольшее применение в отечественной практике и за рубе­жом нашли центрифуги с узлами обработки в виде форсунок, применяемые для отмывки поверхности пластин с последующей промывкой и сушкой центрифугированием, а также центрифуги с вращающимися цилиндрическими щетками. В последнем случае после очистки и промывки поверхностей пластин щетки отводят­ся, позволяя осуществить сушку центрифугированием.

Конструкция узлов обработки изделий:

а – струей жидкости:





Рекомендуемые страницы:

Воспользуйтесь поиском по сайту:



©2015- 2021 megalektsii.ru Все материалы представленные на сайте исключительно с целью ознакомления читателями и не преследуют коммерческих целей или нарушение авторских прав.