Методы контроля тонкопленочных структур с субнанометровым разрешением – Фурье- спектроскопия.

 

В этом разделе рассмотрен метод регистрации оптических спектров, использующий запись интерферограммы с последующим преобразованием Фурье. Показано преимущество этого метода перед традиционным разложением в спектры с применением диспергирующих элементов. Рассмотрены принципы построения фурье-спектрометров, специфика обработки данных и применения фурье-спектроскопии.

Со времен Ньютона оптическая спектроскопия всегда была одним из самых информативных методов исследования вещества. За прошедшее время существенно модернизированы способы регистрации излучения. Однако принципы построения спектральных приборов до середины XX века практически не менялись. Большинство приборов традиционно строили по одной и той же схеме: излучение фокусируется на входную щель прибора, прошедшее излучение параллельным пучком направляется на диспергирующий элемент (долгое время это была призма, в XX веке она стала заменяться на дифракционную решетку) и после фокусировки на выходной щели излучение регистрируется каким-либо приемником излучения. Одновременно развивались интерференционные методы исследования – они обеспечивали более высокое спектральное разрешение, но, как правило, могли быть использованы только для узкого круга специальных задач.

Во второй половине XX века началось бурное развитие интерференционной спектроскопии с преобразованием Фурье [1]. Широкое распространение этого метода определилось развитием вычислительной техники, поскольку, как будет видно, вычислительная машина является необходимым элементом современного фурье-спектрометра. Такие спектрометры обеспечили резкое повышение спектрального разрешения, информативности и скорости получения информации по сравнению с другими оптическими спектрометрами, за исключением, быть может, лазерных. Мы не будем рассматривать лазерные методы исследования: хотя их возможности часто превосходят возможности классической оптической спектроскопии, они пока недостаточно универсальны.

 

Принцип работы

Принцип работы фурье-спектрометра можно понять из рис. 3.11, на котором представлена схема прибора, собранного с использованием наиболее популярной схемы интерферометра Майкельсона. Параллельный пучок излучения 1 падает на светоделительную пластину, после чего одна половина света 2 (отраженная) попадает на одно плоское зеркало, а другая (2 ') (прошедшая) –на другое плоское зеркало. После отражения от зеркал пучки 3, 3 ' снова делятся на светоделителе пополам, одна половина уходит обратно, а другая (4, 4 ') направляется на приемник излучения.

Рис. 3.11 Схема интерферометра Майкельсона

 

Из различных частотных шкал выберем такую, в которой в качестве частоты используется величина, обратная длине волны (ν = λ−1, обычно эта величина называется волновым числом). Предположим, что мы освещаем интерферометр монохроматическим источником излучения с частотой ν0. Тогда в зависимости от оптической разности хода x между пучками, отраженными от разных зеркал, из-за интерференции волн вышедшее из интерферометра излучение будет либо усиливаться, либо ослабляться. При движении одного из зеркал освещенность приемника B(x), а значит, и регистрируемый сигнал будут меняться синусоидально:

(3.21)

где ω0 = 2πν0. Будем называть сигнал B(x) интерферограммой.

Пусть движущееся зеркало проходит некоторое расстояние от начального положения, которое примем равным −L, до конечного положения +L. Преобразуем переменную составляющую интерферограммы B(x) следующим образом (ω = 2πν):

(3.22)

Поскольку

(3.23)

интеграл B(ω, L) сводится к следующему выражению:

(3.24)

Первое слагаемое функции B(ω, L) при ω 0 и некотором заданном L представлено на рис. 2. В целом же при достаточно большом L функция B(ω, L) будет иметь вид весьма узких пиков (линий) при частотах ω0 и −ω0.

Вторая из этих линий, расположенная в отрицательной области частот, не имеет практического значения, так что второе слагаемое можно опустить. Как и следовало ожидать, для монохроматического излучения при L ∞ в спектре получается бесконечно узкая линия на частоте ν0.

Рассмотренное преобразование при L ∞ носит название преобразования Фурье, а функция, получаемая в результате преобразования при конечной разности хода L, определяемой условиями эксперимента, называется аппаратной функцией фурье-спектрометра.

Если в спектре излучения представлена совокупность линий, каждая из них даст синусоидальный сигнал при изменении расстояния х, в результате получим интерферограмму В(х), которую для расчета спектра также следует подвергнуть преобразованию Фурье:

(3.25)

Как сказано выше, аппаратной функцией прибора называется наблюдаемое распределение спектральной интенсивности на выходе прибора, если в него попадает строго монохроматическое излучение. Ширина аппаратной функции может быть принята за предел разрешающей способности прибора, то есть за то минимальное расстояние между спектральными линиями, которые прибор воспринимает как раздельные. Аппаратная функция представлена на рис. 2. Такая функция не очень удобна, ибо имеет глубокие побочные минимумы, что при регистрации спектра может привести к сильным искажениям формы близко расположенных линий. Во избежание искажений при обработке интерферограммы применяют математический прием, который носит название аподизации: интерферограмму умножают на некоторую, например треугольную, функцию Λ(x) = 1 − | x | / L. В результате аппаратная функция прибора уширяется, но ее форма значительно улучшается (см. рис. 3.12). Если используется треугольная аподизация, форма аппаратной функции фурье-спектрометра такая же, как и у прибора с дифракционной решеткой.

Рис 3.12 Аппаратная функция Фурье-спектрометра: сиреневая кривая–без аподизации, красная с треугольной аподизацией.

 

Ширина аппаратной функции определяет разрешающую способность прибора. При треугольной аподизации она равна приблизительно L −1. Таким образом, разрешающая способность фурье-спектрометров, как и других оптических приборов, ограничивается максимальной разностью хода лучей. Для приборов с призмой эта величина задается размером основания

призмы, для приборов с дифракционной решеткой она определяется размером решетки.

 

Преимущества Фурье спектроскопии

Преимущества фурье-спектроскопии перед другими спектроскопическими методами, использующими разложение в спектр, определяются прежде всего энергетическими выигрышами, получившими название выигрыша Жакино и выигрыша Фелжетта.

Первый состоит в том, что у фурье-спектрометров входное отверстие гораздо больше, чем у дисперсионных приборов, свет в которые попадает через узкую входную щель. Этот выигрыш виден из сравнения входных частей систем, изображенных на рис. 3, он может доходить до сотен раз.

Второй выигрыш (Фелжетта) связан с тем, что в обычных спектрометрах регистрируется каждый спектральный интервал поочередно, в то время как в фурьеспектрометрах время регистрации каждого спектрального интервала равно времени регистрации всего спектра. Выигрыш Фелжетта пропорционален M, где M – число разрешаемых интервалов в зарегистрированном спектре. Причину его возникновения можно понять из сравнения выходных частей систем на рис. 3, а его величина также достигает сотен раз. Оба фактора вместе могут давать выигрыш в величине регистрируемой энергии в четыре порядка.

Существенным преимуществом метода является также отсутствие ограничений в спектральном разрешении за счет размеров оптических элементов. Трудно ожидать, что размеры дифракционных решеток или тем

более призм будут больше 50 см. Таким образом, естественным пределом разрешения приборов, использующих пространственную дисперсию, является величина 0,02 см−1. В то же время уже сейчас налажен серийный

промышленный выпуск фурье-спектрометров с разрешением до 0,002 см⁻¹.

Поскольку фурье-спектрометры не требуют очень узких входных и выходных щелей, требования к созданию оптических схем без аберраций при их конструкции сильно снижаются. По этой причине становится возможным создание оптических схем с большим отношением диаметра объектива к его фокусу (относительным отверстием), обычно 1: 3, что делает такие приборы более компактными по сравнению со щелевыми. Такое преимущество оказывается тем более важным, что для обеспечения максимально широкого спектрального диапазона в спектральных приборах обычно применяется зеркальная оптика, для которой безаберрационные схемы создавать труднее, чем при использовании линз.

Рис.3.13 Иллюстрация выигрышей Жакино и Фелжетта

 

Конструкция Фурье-спектрометров

Типичная оптическая схема фурье-спектрометра использует интерферометр Майкельсона (рис. 3.14). Прошедший через входную диафрагму свет падает на коллиматорное зеркало и параллельным пучком направляется на светоделитель. Светоделитель обычно представляет собой прозрачную плоскопараллельную пластину с покрытием.

Рис.3.14 Общая схема Фурье-спектрометра

 

Идеальный светоделитель должен отражать и пропускать ровно по 50% света и не иметь поглощения во всей спектральной области работы прибора. Отклонение от этого требования снижает эффективность его работы. Однако реализовать такое требование очень трудно особенно в инфракрасной области спектра, где длина волны меняется в десятки раз. Поэтому в фурье-спектрометрах используют сменные светоделители. Область работы каждого светоделителя бывает достаточно широкой: она обычно допускает пятикратное изменение длины волны, что гораздо больше, чем для призм или дифракционных решеток. В области низких частот, когда длина волны превышает 25 мкм (микроволновая область), в качестве светоделителей используют полимерные пленки.

После светоделителя прошедший и отраженный пучки попадают на отражающие зеркала, требования к качеству и стабильности которых в интерферометрах очень высоки: их поверхность не должна отклоняться от идеальной более чем на 1/20 длины волны, отвечающей коротковолновой границе работы прибора. В последнее время вместо плоских пластин стали использовать тетраэдрические отражатели, составленные из трех взаимно перпендикулярных пластин. Такая конструкция позволила снизить требование к стабильности, поскольку для тетраэдрического отражателя падающий и отраженный лучи остаются параллельными при его наклонах.

Выходящее из интерферометра излучение фокусируется зеркальным объективом в месте, куда помещается образец, если исследуются спектры поглощения. После этого свет фокусируется на приемнике излучения.

Важным элементом оптической схемы является система измерения разности хода между зеркалами интерферометра (на рис. 4 обозначена красным цветом).

Для этой цели в него вводится излучение одномодового лазера (обычно это лазер He–Ne), которое в прецизионных приборах дополнительно стабилизируется. После прохождения через интерферометр монохроматический пучок генерирует при движении зеркала синусоидальный сигнал на специальном приемнике. Период синусоиды равен длине волны лазерного излучения λlas. Этот сигнал после преобразования используется в создании командных импульсов для считывания показаний с приемника излучения в приемно-усилительной системе интерферометра при смещении подвижного зеркала на расстояние, равное λlas или кратное этой величине. Благодаря такой системе фурье-спектрометр становится прибором с высокой точностью измерений частот спектральных линий, причем точность определяется точностью определения частоты генерации опорного лазера.

Иногда в схему встраивается еще один интерферометр – интерферометр белого света (обозначен на рис. 3.14 зеленым). Он используется для определения нулевой разности хода между зеркалами. Дело в том, что для излучения с широким спектральным составом при нулевой разности хода световые колебания всех частот при сложении пучков на выходе интерферометра будут иметь одну и ту же фазу в разных пучках и в этом случае будут складываться амплитуды световых колебаний.

Если разность хода велика, разности фаз колебаний для разных частот будут практически случайными и тогда складываются энергии волн с разными частотами, что дает вдвое меньшую освещенность на приемнике излучения, чем в случае сложения амплитуд. По этой причине при перемещении подвижного зеркала в сигнале с приемника интерферометра белого света при нулевой разности хода возникает резкий пик, по максимуму которого положение нулевой разности хода определяется очень точно.

 

РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ ФУРЬЕ-СПЕКТРОМЕТРА

 

Разрешающая способность, полученная в спектре, зарегистрированном на фурье-спектрометре, определяется разностью хода L. Оказывается, однако, что разность хода можно делать сколь угодно большой только при достаточно малом входном отверстии. При конечном размере входной диафрагмы после отражения от коллиматора возникают пучки, непараллельные строго оптической оси прибора. Из-за разного наклона разность хода для таких пучков оказывается немного различной, что приводит к уширению аппаратной функции прибора.

Чтобы ослабить этот эффект, приходится уменьшать входную диафрагму, однако уменьшение диафрагмы приводит к уменьшению сигнала и, следовательно, к ухудшению отношения сигнал/шум в спектре. На практике часто именно минимально возможная диафрагма и определяет спектральное разрешение.

Таким образом, реальное предельное разрешение фурье-спектрометров очень часто определяется энергетическими условиями: яркостью источника излучения, светосилой, чувствительностью приемника излучения и т.п. В современных приборах высокого класса, снабженных стандартными источниками излучения для измерения спектров поглощения, предельное разрешение составляет около 0,002 см−1.

 

Обработка интерферограмм

Необходимость существенной математической обработки выходных данных интерферометра (преобразование Фурье) для получения спектра сделала ЭВМ неотъемлемым элементом прибора. Долгое время возможности ЭВМ (объем памяти и быстродействие) ограничивали возможности фурье-спектрометров. Однако в середине 60-х годов начали использовать алгоритм быстрого фурье-преобразования Кули–Тьюки (см. [1]). Хотя его использование и наложило отпечаток на методы регистрации и требования к интерферограммам, алгоритм ускорил вычисления спектров в тысячи раз. Благодаря алгоритму быстрого фурье-преобразования, а также развитию вычислительной техники в настоящее время расчеты, связанные с преобразованием Фурье, можно выполнять на персональных компьютерах даже для спектров, содержащих сотни тысяч точек.

 

Существенным моментом в обработке интерферограмм является определение положения подвижного зеркала, отвечающего нулевой разности хода, если мы имеем дело с односторонней интерферограммой (ход от 0 до L). Ошибка в определении нулевой разности хода, составляющая более 10% шага (а сама величина шага может равняться долям микрона), вызывает заметное искажение аппаратной функции, приводя к ее асимметрии, что крайне нежелательно при исследовании формы узких спектральных линий. При регистрации двусторонних интерферограмм (ход от −L до L) этих ошибок не возникает, однако такой режим требует большего времени регистрации интерферограммы и механического перемещения зеркала на вдвое большее расстояние. Поэтому, как правило, нулевую разность хода определяют либо по интерферометру белого света, либо из анализа формы центральной части интерферограммы, которая зарегистрирована как односторонняя (от 0 до L), но с небольшим захватом отрицательных смещений подвижного зеркала.

 

Использование Фурье-спектроскопии.

Наиболее активно методы фурье-спектроскопии используют при проведении исследований в инфракрасной области, где их преимущества могут быть реализованы в полной мере. При работе в видимой области наиболее чувствительным приемником излучения является фотоумножитель, для которого уровень шумов зависит от величины сигнала, что сводит на нет выигрыш Фелжетта. В инфракрасной области это не так, поэтому именно здесь в фурье-спектроскопии достигнута максимальная разрешающая способность: R > 106.

Такого разрешения оказалось достаточно, чтобы зарегистрировать без существенных искажений линии молекулярных газов при предельно низких давлениях в видимой и почти во всей инфракрасной области. Следовательно, при использовании фурье-спектроскопии спектральное разрешение фактически определяется уже не использованной аппаратурой, а природой изучаемых объектов. Благодаря высокому разрешению, а также предоставляемой возможности измерений спектров значительной протяженности фурье-спектроскопия обеспечила существенное продвижение в исследовании колебательно-вращательных спектров молекулярных газов. Дело в том, что колебательно-вращательные полосы молекулярных газов часто состоят из сотен и/или даже тысяч линий, и только фурье-спектроскопия позволила проводить их исследования в полной мере.

Возможности фурье-спектроскопии позволили с успехом применить ее для газового анализа, и в первую очередь для анализа состава атмосферы как Земли, так и других планет.

В качестве примера таких исследований можно привести эксперименты, которые проводятся интернациональной группой исследователей [2]. В одном из последних экспериментов на научно-исследовательском корабле “Polarstern”, который пересек Атлантику с севера на юг летом 1996 года, был установлен мобильный фурье-спектрометр высокого разрешения “Bruker HR 120M”. Во время этого плавания были зарегистрированы и проанализированы спектры поглощения солнечной радиации (в том числе и отраженной от Луны), обусловленные атмосферными примесями, со спектральным разрешением 0,005 см−1. Среди этих примесей были замечены молекулы CO, C2H2, CH2O, OCS, HCN, HCl, HF, HNO3, NO2, ClONO2, COF2. Такое исследование позволило восстановить широтное распределение

примесей. Так, например, оказалось, что распределение CO равномерно, а концентрация HF на экваторе минимальна и заметно возрастает к полюсам.

Группа итальянских исследователей с помощью фурье-спектрометра, установленного на стратостате, изучила микроволновые спектры испускания атмосферы с разрешением 0,0025 см−1. Им удалось зарегистрировать линии и определить содержание таких малых компонент атмосферы, как атомарный кислород, HF, HCN, OH, HO2, H2O2, HCl, HOCl, HBr. Аналогичное исследование, но с использованием фурье-спектрометра, установленного на спутнике, и с регистрацией солнечного излучения провела группа американских ученых в рамках эксперимента “ATMOS”.

Сразу после возникновения фурье-спектроскопии ее методы были использованы для астрофизических исследований. По спектрам планет Марса, Венеры, Юпитера был определен состав их верхних атмосфер, были изучены также спектры некоторых звезд [3].

При работе с жидкостями и твердыми телами обычно не требуется высокого спектрального разрешения. В этих случаях оказываются полезными высокая производительность метода (время регистрации спектра может быть меньше секунды) и значительная величина отношения сигнал/шум в полученных спектрах. Последнее позволяет работать с малопрозрачными объектами, например проводить спектральный анализ пыли, осевшей на воздушных фильтрах, или по спектрам фрагментов древесины определять состав атмосферы и условия, в которых находилось дерево в разные периоды своей жизни.

Высокая чувствительность метода позволяет использовать световоды для передачи информации от объекта к прибору, что дает возможность изучать объекты, находящиеся в сотнях метров от спектральной лаборатории.

Подводя итоги, следует отметить, что в настоящее время методы фурье-спектроскопии полностью вытеснили дисперсионные (с применением призм или дифракционных решеток) в исследованиях, которые проводятся в инфракрасной области, поскольку именно здесь их преимущества реализуются в полной мере. Переход от обычных методов к фурье-спектроскопии позволил существенно увеличить спектральное разрешение, а если этого не требуется, при том же самом качестве спектров позволил существенно увеличить скорость регистрации и отношение сигнал/шум. Именно поэтому фурье спектроскопия теперь используется даже для рутинных измерений.

 

3.5. Акустическая микроскопия.

 

Микроскопия акустическая — совокупность методов визуализации микроструктуры и формы малых объектов с помощью ультразвуковых - и гиперзвуковых волн. Она включает в себя также методы измерения локальных характеристик упругих и вязких свойств объекта и их распределений по его поверхности или внутри объёма. M. а. основана на том, что УЗ-волны, прошедшие, отражённые или рассеянные отд. участками объекта, имеют различные. характеристики (амплитуду, фазу и др.) в зависимости от локальных вязкоупругих свойств образца. Эти различия позволяют методами визуализации звуковых полей получать акустических. изображения на экране дисплея. В зависимости от способа преобразования акустических. полей в видимое изображение. Различают сканирующую лазерную M. а. и сканирующую растровую M. а.

Сканирующая лазерная M. а. представляет собой разновидность голографии акустической для визуализации малых объектов. При облучении плоской УЗ-волной объекта, помещённого в жидкость, фронт волны после прохождения образца искажается из-за неоднородных фазовых задержек, а амплитуда изменяется в соответствии с неоднородностью коэффициентов отражения и поглощения в объекте. Прошедшая волна падает на свободную поверхность жидкости и создаёт на ней поверхностный рельеф, соответствующий акустическое. изображению объекта. Рельеф считывается световым лучом и воспроизводится на экране дисплея.

Рис. 3.15. Принципиальная схема сканирующего лазерного акустического микроскопа.

 

Этот метод реализуется в лазерном акустическом микроскопе (рис. 1), где УЗ-пучок, излучаемый преобразователем 1, через звукопровод 2 падает на объект 3, помещённый в иммерсионную жидкость 4, и после прохождения объекта создаёт на границе жидкости рельеф. На поверхность жидкости нанесена полупрозрачная плёнка, которая деформируется вместе с поверхностью. Луч лазера 5 с помощью сканирующего устройства 6 и зеркала 7 перемещается по поверхности плёнки, частично отражаясь от неё. Угол отражения a меняется от точки к точке в соответствии с рельефом, создаваемым акустической. волной. Отражённый луч, пройдя зеркало 7 и линзу 8, падает на оптический. нож 9, преобразующий угловую. модуляцию в амплитудную, и регистрируется фотоприёмником 10. Видимое акустическое изображение возникает на экране дисплея 11, развёртка которого синхронизирована с движением лазерного луча, а яркость управляется сигналом с фотоприёмника. Для сравнения одновременно на другом дисплее 13 получается оптическое. изображение объекта за счёт регистрации фотоприёмником 12 прошедшего лазерного луча.

Используемый в сканирующей лазерной M. а. способ визуализации не позволяет получать высокие разрешения. Лазерные акустические. микроскопы работают на частотах вплоть до нескольких. сотен МГц и дают разрешение до 10 мкм. Одно из достоинств лазерного акустического. микроскопа - возможность одновременно получать оптическое. и акустическое изображения и сравнивать их. Для количественных измерений в лазерной сканирующей M. а. используются те же методы, что и в обычной акустической. голографии, например, метод интерферограмм.

В сканирующей растровой M. а. сфокусированный УЗ-пучок перемещается по объекту, изображение которого воссоздаётся по точкам в виде растра. Фокусированная волна, падая на образец, частично отражается от объекта, частично поглощается и рассеивается в нём, а частично проходит через него. Принимая ту или иную часть излучения, можно судить об акустических. свойствах образца в области, размеры которой определяются размерами фокального пятна. В акустическом. микроскопе (рис. 2) пучок плоских УЗ-волн, излучаемых пьезоэлектрическим. преобразователем 1, фокусируется акустической линзой 2, которая представляет собой сферическое. углубление на границе раздела звукопровода 3 и иммерсионной жидкости 4.

Образец 5 помещается вблизи фокальной плоскости линзы и перемещается параллельно ей по двум осям с помощью механического. сканирующего устройства 6. УЗ-излучение после взаимодействия с объектом собирается приёмной акустической. линзой 7 на приёмном пьезоэлектрическом. преобразователе 8. Электрический. сигнал с преобразователя управляет яркостью электронного луча, развёртка которого синхронизована с движением образца при его сканировании. В результате на экране дисплея 9 возникает акустическое. изображение, которое определяется распределением по образцу его физ. свойств (упругости, плотности, вязкости, толщины, анизотропии и ДР).

Рис. 3.16. Принципиальная схема сканирующего акустического микроскопа для режима "на прохождение".

 

В зависимости от того, какая часть излучения после взаимодействия с объектом регистрируется, различают акустический микроскопы "на отражение", "на прохождение", "тёмного поля". Выходной сигнал формируется лишь теми лучами, которые проходят через фокус приёмной линзы 7 в иммерсионной жидкости (реальный или мнимый) и соответственно после преломления на её поверхности падают на преобразователь по нормали. Поэтому для получения изображения в прошедших лучах используется т. н. конфокальная система - пара акустических линз, фокусы которых совмещены, как показано на рис. 2. В режиме "на отражение" одна и та же линза используется как для получения фокусированного. пучка, так и для приёма УЗ-волн. Акустическое. изображение в режиме "тёмного поля" создаётся лучами, рассеянными объектом; для его получения приёмную линзу в конфокальной системе отклоняют от акустической. оси системы так, чтобы она собирала рассеянные лучи. Ещё один режим работы акустического микроскопа - нелинейный - можно осуществить, если принимать акустическое излучение не на основной. частоте возбуждаемого звукового пучка, а на её гармониках.

Звукопроводы акустических. линз изготовляются из материалов с высокой скоростью продольных акустических. волн (сапфир кварц и др.), в качестве иммерсионных жидкостей используются вода, жидкий гелий, жидкие металлы (ртуть, галлий и др.), некоторые органические. жидкости. Показатели преломления h на границах раздела таких сред достигают значит, величины; так, для системы вода - сапфир n = 7,4. Для того чтобы уменьшить потери на поглощение звука в иммерсионной жидкости и улучшить разрешение, используются линзы с малыми радиусами кривизны (вплоть до сотен и десятков микрон для гиперзвуковых частот) и большими углами раскрытия (обычно . Вследствие большой разницы скоростей распространения в звукопроводе и в иммерсионной жидкости аберрации в линзовых системах акустических. микроскопов малы даже при больших Структура фокуса определяется дифракц. эффектами, и размеры фокальной области оказываются порядка длины УЗ-волны Разрешение акустического. микроскопа, характеризуемое радиусом фокальногото пятна зависит от частоты , на которой микроскоп работает. В диапазоне частот от 50 МГц до 3 ГГц разрешение в акустическом. микроскопах, использующих в качестве иммерсии воду (скорость звука , меняется от 20 до 0,5 мкм, конкурируя на высоких частотах с разрешением оптических микроскопов. Использование в качестве иммерсии сверхтекучего гелия при температуpax ниже существенно улучшает разрешение микроскопа: уже на частоте 2 ГГц оно составляет около 90 HM.

Контраст акустических. изображений определяется вариациями различных. физико-механических. свойств материала и геометрических. параметров образца в зависимости от режима работы микроскопа. Режим "на отражение" обычно используется для изучения поверхности и поверхностного слоя у хорошо отражающих твёрдых тел (кристаллов, шлифов минералов и сплавов и др.). При отражении сходящегося пучка с достаточно большим углом раскрытия в жидкости помимо зеркально отражённых лучей распространяются также лучи, возникающие в результате возбуждения падающим пучком на границе раздела вытекающих поверхностных волн и боковых волн (волн в твёрдом теле, распространяющихся вдоль границы раздела и переизлучающихся в жидкость). В большинстве материалов скорость распространения поперечных акустических. волн заметно больше скорости звука в иммерсионной жидкости, и для них основную. роль играют эффекты, связанные с вытекающими волнами Релея, которые возбуждаются УЗ-волнами, падающими на границу раздела под т. н. рэлеевским углом где с_R - скорость рэлеевской волны на свободной поверхности образца (рис. 3). При распространении вдоль границы раздела возбужденная волна переизлучается обратно в жидкость пол, углом q_R в виде семейства лучей, исходящих из разл. точек поверхности раздела.

Рис. 3.17 Ход лучей в сканирующем акустическом микроскопе "на отражение".

 

Поверхность объекта I смещена из фокальной плоскости микроскопа в сторону линзы II. 1' и 1 - падающий и отражённый параксиальные лучи; 2 - луч, падающий на поверхность объекта под рэлеевскнм углом q_R; 2` - луч, зеркально отражённый под углом - луч, переизлучённый под углом в иммерсионную жидкость IV в результате образования вытекающей рэлеевской волны. Сигнал на преобразователе создаётся лучами 1' 2''.

Когда поверхность образца I помещается в фокальную плоскость акустической. линзы II, выходной сигнал на преобразователе III формируется только лучами, зеркально отражёнными от поверхности образца. Акустическое. изображение передаёт распределение на поверхности образца коэф. отражения, интегрального по углу падения. Из-за большой разницы волновых сопротивлений I и иммерсионной жидкости IV коэффициент. отражения близок к единице даже при значительных изменениях упругих свойств образца, и контраст акустических. изображений слабый. Для улучшения контраста исследуемую поверхность смещают из фокальной плоскости по направлению к линзе. При её смещении выходное электрическое. напряжение V на преобразователе возникает как интерференция сигналов, создаваемых параксиальным отражённым лучом 1' и лучом , переизлучённым вытекающей рэлеевской волной и проходящим через мнимый фокус в иммерсионной жидкости (рис. 3). Акустические. пути, проходимые лучами , различны, и выходное напряжение V при движении объекта вдоль акустической оси линзы будет меняться периодически, образуя ярко выраженные максимумы и минимумы (рис. 4) при положит, смещениях z (когда объект приближается к линзе). Расстояние между соседними минимумами (максимумами) не зависит от номера минимума, а определяется только величиной скорости рэлеевских волн на поверхности исследуемого материала:

Рис. 3.18. -характеристика для - кварца Y-среза (а) и сапфира Z-среза (б) с водой в качестве иммерсионной жидкости.

Зависимость F от z определяется акустическими. свойствами материала образца, поэтому она получила назв. характеристики материала или его акустической сигнатуры. Подбором смещения z можно получить высокий акустический контраст даже при небольших изменениях упругих параметров в образце ценой, однако, уменьшения разрешающей силы микроскопа.

Поскольку в формировании выходного сигнала в микроскопе при работе "на отражение" участвуют вытекающие рэлеевские волны, акустических. изображения передают структуру не только самой поверхности образца, но и приповерхностного слоя, толщина которого определяется глубиной проникновения рэлеевской волны в образец.

Благодаря этому с помощью отражательной M. а. можно изучать многослойные плёнки и др. слоистые системы, визуализировать подповерхностные дефекты и микротрещины и др. Визуализация внутренней структуры образца на больших глубинах затруднена эффектами отражения и преломления на его границе. Вследствие отражения лишь малая часть падающего излучения проходит внутрь образца, а структура прошедшего пучка оказывается искажённой эффектами преломления: в образце возникает нескольких сходящихся пучков, образованных упругими волнами различных поляризаций (в изотропном образце - продольными и поперечными волнами), причём эти пучки имеют значительные, аберрации за счёт изменения хода лучей при преломлении. Однако использование в качестве иммерсии жидкостей с большими волновыми сопротивлениями и скоростями звука (напр., жидкого галлия) позволяет уменьшить потери на отражение и аберрации и получить акустического изображения внутренней структуры образца как в продольных, так и в поперечных лучах.

Для визуализации тонких плоских образцов (плёнок, пластинок, срезов биол. тканей и др.) используется M. а. "на прохождение". Толщины образцов в этом случае ограничены величиной межлинзового расстояния в конфокальной системе, поглощением и аберрациями фокусированно. УЗ-пучка в образце и обычно не превышают нескольких. десятков длин волн на рабочей частоте микроскопа. Контраст акустических изображений для объектов с акустическими. характеристиками, близкими к характеристикам иммерсии (напр., биол. объекты в воде), создаётся не только локальными вариациями поглощения и рассеяния в образце, но и неоднородным распределением скорости звука по образцу, поскольку лучи в сходящемся пучке, идущие под различными углами к оси пучка, проходят в образце разные пути и приходят на приёмный преобразователь с различными фазами. Поэтому сигнал на выходе оказывается зависящим от локальной скорости звука в образце.

M. а. позволяет непосредственно наблюдать микроструктуру объекта, распределение его упругих и вязких свойств. M. а. используется для получения изображений оптически непрозрачных объектов или, наоборот, прозрачных объектов с незначительным оптическим контрастом.

 

Рис. 3.19. Акустические (слева) и оптические (справа) изображения биологических

⇐ Предыдущая234567891011Следующая ⇒

Поделиться:

Воспользуйтесь поиском по сайту: